[發明專利]多臂結構照明成像

在審

• 申請號: 201910032692.0
• 申請日: 2019-01-14
• 公開（公告）號: CN110045493A
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 斯坦利·S·洪
• 申請（專利權）人: 伊魯米那股份有限公司
• 主分類號: G02B21/06
• 分類號: G02B21/06;G02B21/00
• 代理公司: 北京安信方達知識產權代理有限公司 11262
• 代理人: 張瑞;楊明釗

1.一種結構照明成像系統，包括：

第一光學臂，其包括：

第一光發射器，其發射光；以及

第一分束器，其分離由所述第一光發射器發射的光以將第一多個條紋投射在樣品的平面上；

第二光學臂，其包括：

第二光發射器，其發射光；以及

第二分束器，其分離由所述第二光發射器發射的光以將第二多個條紋投射在所述樣品的平面上；以及

光學元件，其組合所述第一臂和所述第二臂的光路。

2.根據權利要求1所述的結構照明成像系統，其中所述第一分束器包括第一透射式衍射光柵，以及所述第二分束器包括第二透射式衍射光柵。

3.根據權利要求2所述的結構照明成像系統，其中所述第一光發射器和所述第二光發射器發射非偏振光，并且其中所述第一透射式衍射光柵和所述第二透射式衍射光柵使由所述第一光發射器和所述第二光發射器中的相應光發射器發射的非偏振光衍射。

4.根據權利要求2所述的結構照明成像系統，其中組合所述第一多個條紋和所述第二多個條紋的光路的所述光學元件包括具有孔的反射鏡，其中所述反射鏡被布置成反射由所述第一衍射光柵衍射的光，并且所述孔被布置成使由所述第二衍射光柵衍射的至少第一級光穿過。

5.根據權利要求4所述的結構照明成像系統，還包括使所述第一多個條紋和所述第二多個條紋相移的一個或更多個光學元件。

6.根據權利要求5所述的結構照明成像系統，其中使所述第一多個條紋和所述第二多個條紋相移的所述一個或更多個光學元件包括使所述第一多個條紋相移的第一旋轉光學窗口和使所述第二多個光學條紋相移的第二旋轉光學窗口。

7.根據權利要求5所述的結構照明成像系統，其中使所述第一多個條紋和所述第二多個條紋相移的所述一個或更多個光學元件包括平移所述第一衍射光柵的第一線性運動臺和平移所述第二衍射光柵的第二線性運動臺。

8.根據權利要求5所述的結構照明成像系統，其中使所述第一多個條紋和所述第二多個條紋相移的所述一個或更多個光學元件包括單個旋轉光學窗口，其中所述單個旋轉光學窗口在到所述樣品的光路中位于具有孔的所述反射鏡之后。

9.根據權利要求8所述的結構照明系統，其中所述單個旋轉光學窗口的旋轉軸從每個所述光柵的光軸偏移約45度。

10.根據權利要求5所述的結構照明成像系統，其中所述第一多個條紋在所述樣品平面上從所述第二多個條紋成角度地偏移約90度。

11.根據權利要求10所述的結構照明系統，其中所述樣品包括以矩形陣列或六邊形陣列有規則地圖樣化的多個特征。

12.根據權利要求5所述的結構照明系統，還包括：將所述第一多個條紋和所述第二多個條紋中的每一個投射在所述樣品上的物鏡。

13.根據權利要求5所述的結構照明系統，還包括：用于阻擋由所述第一衍射光柵和所述第二衍射光柵中的每一個發射的零級光的一個或更多個光束阻擋器。

14.根據權利要求13所述的結構照明系統，其中所述一個或更多個光束阻擋器包括布拉格光柵。

15.根據權利要求2所述的結構照明系統，其中組合所述第一臂和所述第二臂的光路的所述光學元件包括偏振分束器，其中所述第一衍射光柵使垂直偏振光衍射，并且其中所述第二衍射光柵使水平偏振光衍射。

16.根據權利要求1所述的結構照明成像系統，其中所述第一分束器和所述第二分束器各自包括分束器立方體或板。