[發(fā)明專利]圖樣角度空間選擇結(jié)構(gòu)照明成像

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910031381.2
• 申請日: 2019-01-14
• 公開（公告）號: CN110044854A
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彼得·克拉克·紐曼;達(dá)尼洛·孔代洛;呂少平;西蒙·普林斯;莫瑞克·C·蕭;斯坦利·S·洪;亞倫·劉
• 申請（專利權(quán)）人: 伊魯米那股份有限公司
• 主分類號: G01N21/64
• 分類號: G01N21/64;G02B21/06
• 代理公司: 北京安信方達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11262
• 代理人: 張瑞;楊明釗

1.一種結(jié)構(gòu)照明成像系統(tǒng)，包括：

發(fā)射光的光發(fā)射器；

二維衍射光柵，其使由所述光發(fā)射器發(fā)射的光衍射以將被定向在第一方向上的第一多個(gè)條紋投射在樣品平面上并將被定向在垂直于所述第一方向的第二方向上的第二多個(gè)條紋投射在所述樣品平面上；以及

空間濾波器輪，其使在所述第一方向或所述第二方向中的相應(yīng)方向上從所述二維衍射光柵接收的衍射光穿過并且阻擋在所述第一方向或所述第二方向中的相應(yīng)方向上的光，所述空間濾波器輪包括第一多個(gè)孔和與所述第一多個(gè)孔正交的第二多個(gè)孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu)照明成像系統(tǒng)，其中，所述第一多個(gè)孔使在所述第一方向上由所述二維衍射而衍射的光穿過，并且其中所述第二多個(gè)孔使在所述第二方向上由所述二維衍射而衍射的光穿過。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的結(jié)構(gòu)照明成像系統(tǒng)，還包括阻擋由所述二維衍射光柵透射的0級光的光束阻擋元件。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的結(jié)構(gòu)照明成像系統(tǒng)，其中，所述光束阻擋元件包括被圖樣化以反射垂直于所述元件的光并使其他角度的光穿過的衍射光學(xué)元件。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的結(jié)構(gòu)照明成像系統(tǒng)，其中，所述空間濾波器輪反射從所述二維衍射光柵接收的未穿過的衍射級光。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的結(jié)構(gòu)照明成像系統(tǒng)，其中，所述二維衍射光柵是透射式衍射光柵。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的結(jié)構(gòu)照明系統(tǒng)，還包括固體光學(xué)器件，其中所述透射式衍射光柵被設(shè)置在接收來自所述光發(fā)射器的光的所述固體光學(xué)器件的表面上或者形成在所述表面上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的結(jié)構(gòu)照明成像系統(tǒng)，其中，所述透射式衍射光柵的色散角被布置成使得0級光在所述固體光學(xué)器件的遠(yuǎn)側(cè)上被阻擋。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的結(jié)構(gòu)照明成像系統(tǒng)，其中，所述固體光學(xué)器件包括衍射和輸出由所述二維透射式衍射光柵衍射的第一級光的斜面。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的結(jié)構(gòu)照明成像系統(tǒng)，其中，所述斜面包括聚焦透鏡。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的結(jié)構(gòu)照明成像系統(tǒng)，還包括接收由所述固體光學(xué)器件輸出的光的投影透鏡。

12.根據(jù)權(quán)利要求2所述的結(jié)構(gòu)照明成像系統(tǒng)，其中，所述二維衍射光柵是二維反射式衍射光柵。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的結(jié)構(gòu)照明成像系統(tǒng)，還包括固體光學(xué)器件，其中所述二維反射式衍射光柵被形成在所述固體光學(xué)器件的與接收來自所述光發(fā)射器的光的所述固體光學(xué)器件的孔相對的表面上或者設(shè)置在所述表面上。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的結(jié)構(gòu)照明成像系統(tǒng)，其中，所述固體光學(xué)器件還包括反射內(nèi)表面，所述反射內(nèi)表面反射由所述二維反射式衍射光柵衍射的第一級光并通過所述固體光學(xué)器件的出口面將所述第一級光輸出。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的結(jié)構(gòu)照明成像系統(tǒng)，其中，所述出口面包括衍射聚焦透鏡。

16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的結(jié)構(gòu)照明成像系統(tǒng)，還包括用于接收由所述固體光學(xué)器件輸出的光的投影透鏡。

17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu)照明成像系統(tǒng)，還包括使所述第一多個(gè)條紋和所述第二多個(gè)條紋相移的一個(gè)或更多個(gè)光學(xué)元件，其中，使所述第一多個(gè)條紋和所述第二多個(gè)條紋相移的所述一個(gè)或更多個(gè)光學(xué)元件包括沿垂直的兩個(gè)方向傾斜的平行板光學(xué)器件。