[發明專利]一種精密運動補償器、XYZ三維精密運動補償器及補償系統在審
| 申請號： | 201910020237.9 | 申請日： | 2019-01-09 |
| 公開（公告）號： | CN109545271A | 公開（公告）日： | 2019-03-29 |
| 發明（設計）人： | 張攬宇;高健;陳文華;張金迪;梁俊朗;鐘耿君;趙光同;陳新;賀云波 | 申請（專利權）人： | 廣東工業大學 |
| 主分類號： | G12B5/00 | 分類號： | G12B5/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 張春水;唐京橋 |
| 地址： | 510060 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 精密運動 補償器 微動臺 側板 彈簧 滑動組件 基底 凸臺 補償系統 壓電陶瓷 壓電 底座 三維 測量部件 固定設置 柔性鉸鏈 相對設置 振動抵消 軸向滑動 底面 微動 預緊 申請 測量 垂直 壓縮 配合 | ||
1.一種精密運動補償器，其特征在于，具有基底與微動臺，所述基底包括底座與固定設置在所述底座上的凸臺；
所述微動臺的底面具有相對設置并垂直所述底面的壓電側側板與彈簧側側板；
所述彈簧側側板與所述凸臺的第一端面之間設置有預緊壓縮的彈簧，所述壓電側側板與所述凸臺的位于所述第一端面對側的第二端面之間夾設有壓電陶瓷；
所述基底上設置有滑動組件，所述微動臺與所述滑動組件連接，并可基于所述滑動組件沿所述彈簧的軸向滑動；
還具有測量部件，用于測量所述微動臺的位置。
2.根據權利要求1所述的精密運動補償器，其特征在于，所述第一端面上設置有與所述彈簧匹配的彈簧定位柱。
3.根據權利要求1所述的精密運動補償器，其特征在于，還包括預緊螺栓；所述彈簧側側板上設置有與所述預緊螺栓匹配的螺紋孔；所述預緊螺栓通過所述螺紋孔與所述彈簧側側板連接，其端部對所述彈簧側側板內側的所述彈簧預緊壓縮。
4.根據權利要求1所述的精密運動補償器，其特征在于，所述滑動組件具體包括導軌與滑塊；
所述導軌沿所述彈簧的軸向設置在所述基底上，所述滑塊套設在所述導軌上，所述微動臺與所述滑塊連接。
5.根據權利要求4所述的精密運動補償器，其特征在于，所述導軌具體設置在所述基底的底座上。
6.根據權利要求1所述的精密運動補償器，其特征在于，所述測量裝置具體為光柵尺，所述光柵尺的讀數頭沿所述彈簧的軸向設置在所述底座上。
7.一種XYZ三維精密運動補償器，其特征在于，包括兩個如權利要求1至6任一項所述的精密運動補償器，分別為X軸精密運動補償器與Y軸精密運動補償器；
所述Y軸精密運動補償器以所述X軸精密運動補償器的微動臺為底座，層疊設置在所述X軸精密運動補償器上；
所述Y軸精密運動補償器的微動臺上設置有Z軸精密運動補償器。
8.根據權利要求7所述XYZ三維精密運動補償器，其特征在于，所述Z軸精密運動補償器的底座為所述精密運動Y軸精密運動補償器的微動臺；
所述Z軸精密運動補償器的底座上固定設置有Z軸凸臺，所述Z軸凸臺沿豎直方向開設有向下的階梯孔，在所述階梯孔中由下至上依次放置有Z軸壓電陶瓷、Z軸向推桿與Z軸彈簧，所述Z軸彈簧套設在所述Z軸向推桿上以定位；
所述階梯孔的下孔與所述Z軸壓電陶瓷匹配，其上孔內壁設置有與Z軸預緊螺栓匹配的螺紋；所述Z軸預緊螺栓通過所述螺紋與所述Z軸凸臺連接，其端部對所述Z軸彈簧預緊壓縮；
所述Z軸預緊螺栓中空設置，所述Z軸微動臺與所述Z軸向推桿連接；
還具有Z軸測量部件，用于測量Z軸微動臺的位置。
9.根據權利要求8所述的XYZ三維精密運動補償器，其特征在于，所述Z軸測量部件具體為Z軸光柵尺，所述Z軸光柵尺的讀數頭豎直設置在其底座。
10.一種XYZ三維精密運動補償系統，其特征在于，包括上位機與如權利要求7-9任一項所述的XYZ三維精密運動補償器；
所述上位機用于，根據所述XYZ三維精密運動補償器中的X、Y和/或Z軸精密運動補償器的微動臺的位置，輸出信號控制對應的壓電陶瓷。
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