[發明專利]離子束設備用雙燈絲中和器

在審

• 申請號: 201910018562.1
• 申請日: 2019-01-09
• 公開（公告）號: CN109881174A
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 偉業智芯（北京）科技有限公司
• 主分類號: C23C14/46
• 分類號: C23C14/46;H01J37/30;H01J37/305
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開一種離子束設備用雙燈絲中和器，包括法蘭、支桿、支架、燈絲A、燈絲B、導線A、導線B、四個電極組成。由于采用獨立于離子源的中和器方式，并配備二根燈絲，中和器中和效率高，燈絲不受離子束直接轟擊，燈絲壽命長，整機設備工作效率高，燈絲材料原子不易污染真空室和工件，安裝維護方便。

技術領域

本發明涉及離子束技術領域，尤其涉及一種離子束設備用雙燈絲中和器。

背景技術

離子束濺射鍍膜或刻蝕技術為科學研究與生產提供了新工藝、新技術，為當今迅速發展的薄膜集成電路、薄膜傳感器、磁性薄膜器件、高溫合金導體薄膜等廣泛的應用領域提供了新的技術手段。

然而現在這類離子束濺射鍍膜或刻蝕設備，離子源中和器仍然用單根燈絲安裝在離子源正前方，這種設計好處是中和器完全浸沒在離子束中，中和效率高，但中和器燈絲受離子束強烈轟擊，燈絲很快變細并最終燒斷，壽命大大縮短；沒有第二根燈絲備份，在第一根燈絲燒斷的情況下不能迅速切換到第二根燈絲，容易中斷鍍膜或刻蝕工作。同時燈絲材料原子容易污染真空室，影響鍍膜或刻蝕效果。另外，中和器燈絲安裝在離子源前部，更換燈絲時需要將離子源一同從真空室中取出，操作時間長，難度大。

因此，開發一種獨立離子源的雙燈絲中和器及其重要。

發明內容

本發明的目的在于針對上述問題，提供一種離子束設備用雙燈絲中和器，所述中和器和離子源分開安裝，且有二根燈絲，中和效果好、安裝維護方便、工作時間長。

為解決以上技術問題，本發明的技術方案是：

一種離子束設備用雙燈絲中和器，包括：

法蘭，一種金屬鋼材料制成，用于固定支桿和穿孔密封安裝電極A和電極B；

支架，一種金屬鋼材料制成，用于穿孔固定所述支桿和穿孔安裝電極C和電極D；

燈絲A，一種能發射熱電子的金屬細絲，一端固定在支桿的支桿上端部位置，另一端固定在所述電極D上端；

燈絲B，一種能發射熱電子的金屬細絲，一端固定在支桿的支桿上端部位置，另一端固定在所述電極C上端；

導線A，可通過大電流的導電線，一端連接在所述電極A的上端部，另一端連接在所述電極C的下端部；

導線B，可通過大電流的導電線，一端連接在所述電極B的上端部，另一端連接在所述電極D的下端部。

所述燈絲A和燈絲B是直徑?0.2mm至?1.2mm的金屬絲。

與現有技術相比，本發明所具有的有益效果為：由于采用獨立于離子源的中和器方式，并配備二根燈絲，中和器中和效率高，燈絲不受離子束直接轟擊，燈絲壽命長，整機設備工作效率高，燈絲材料原子不易污染真空室和工件，安裝維護方便。

附圖說明

圖1為本發明的離子束設備用雙燈絲中和器示意圖。

圖2為本發明的離子束設備用雙燈絲中和器和離子源的安裝位置示意圖。

圖3為現有技術的離子源和中和器安裝位置示意圖。

圖中：1、法蘭；2、支桿；3、支架 ；4、燈絲A；5、燈絲B；6、導線A；7、導線B；11、電極A；12、電極B；13、電極C；14、電極D；21、支桿上端部；31、真空室；32、雙燈絲中和器；33、離子源；34、離子束、35、傳統中和器。

具體實施方式

以下結合附圖對本發明優選實施例進行說明，應當理解，此處所描述的優選實施例僅用于說明和解釋本發明，并不用于限制本發明。