[發明專利]壓印模具的制作方法

在審

• 申請號: 201910018231.8
• 申請日: 2019-01-09
• 公開（公告）號: CN111427233A
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發明（設計）人: 謝自民;王亞平;平財明;林濤
• 申請（專利權）人: 蘇州藍沛光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種壓印模具的制作方法，其特征在于，所述壓印模具的制作方法包括如下步驟：

1)制作母版結構，所述母版結構的表面形成有多個第一凹槽結構；

2)基于所述母版結構制作轉印模板，所述轉印模板的表面形成有多個與所述第一凹槽結構一一對應的凸起結構；

3)提供壓印模具基板；

4)于所述壓印模具基板的表面形成壓印模具柔性材料層；

5)基于所述轉印模板采用壓印工藝于所述壓印模具柔性材料層的表面形成多個第二凹槽結構，所述第二凹槽結構與所述第一凹槽結構相同；

6)將所述壓印模具柔性材料層固化；

7)剝離所述轉印模板，以得到與所述母版結構具有相同凹槽結構的壓印模具。

2.根據權利要求1所述的壓印模具的制作方法，其特征在于，步驟1)包括如下步驟：

1-1)提供母版基板；

1-2)于所述母版基板的表面形成母版柔性材料層；

1-3)采用光刻工藝或機械加工工藝于所述母版柔性材料層的表面形成多個所述第一凹槽結構。

3.根據權利要求1所述的壓印模具的制作方法，其特征在于，步驟2)包括如下步驟：

2-1)提供轉印基板；

2-2)于所述轉印基板的表面形成轉印柔性材料層；

2-3)基于所述母版結構采用壓印工藝于所述轉印柔性材料層的表面形成多個所述凸起結構；

2-4)將所述轉印柔性材料層固化；

2-5)剝離所述母版結構以得到所述轉印模板。

4.根據權利要求1所述的壓印模具的制作方法，其特征在于，步驟2)包括如下步驟：

2-1)基于所述母版結構采用壓印工藝制備得到具有凸起結構的中間轉印模板；

2-2)基于所述具有凸起結構的中間轉印模板采用壓印工藝制備得到具有凹槽結構的中間轉印模板；

2-3)基于上一步驟得到的所述具有凹槽結構的中間轉印基板采用壓印工藝制備得到所述轉印模板。

5.根據權利要求4所述的壓印模具的制作方法，其特征在于，步驟2-2)與步驟2-3)之間還包括如下步驟：

2-2’)基于上一步驟得到的所述具有凹槽結構的中間轉印模板采用壓印工藝制備另一具有凸起結構的中間轉印模板；

2-2”)基于上一步驟得到的所述具有凸起結構的中間轉印模板采用壓印工藝制備另一具有凹槽結構的中間轉移模板。

6.根據權利要求5所述的壓印模具的制作方法，其特征在于，步驟2-2”)于步驟2-3)之間還包括重復步驟2-2’)～2-2”)至少一次的步驟。

7.根據權利要求1所述的壓印模具的制作方法，其特征在于，多個所述第一凹槽結構獨立分布或多個所述第一凹槽結構呈網格狀互連分布；多個所述第二凹槽結構獨立分布或多個所述第二凹槽結構呈網格狀互連分布。

8.根據權利要求1所述的壓印模具的制作方法，其特征在于，所述第一凹槽結構的寬度包括2μm～50μm，所述第一凹槽結構的深度包括2μm～50μm；所述凸起結構的寬度包括2μm～50μm，所述凸起結構的高度包括2μm～50μm；所述第二凹槽結構的寬度包括2μm～50μm，所述第二凹槽結構的深度包括2μm～50μm。

9.根據權利要求1所述的壓印模具的制作方法，其特征在于，所述壓印模具基板包括柔性基板。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的壓印模具的制作方法，其特征在于，基于所述母版結構形成多個所述轉印模板；基于各所述轉印模板形成多個所述壓印模具。