[發(fā)明專(zhuān)利]一種玻璃激光標(biāo)刻系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910014913.1
• 申請(qǐng)日: 2019-01-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109702320B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王昌焱;謝圣君;徐新峰;房用橋;李士杰;范吉鵬;孫左峰;萬(wàn)柯;湯治飛;湯華斌;范祥鑫;劉振強(qiáng);謝飛;潘明錚;呂啟濤;高云峰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B23K26/02
• 分類(lèi)號(hào): B23K26/02;B23K26/36;B23K26/402;B23K26/70
• 代理公司: 深圳市恒申知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44312
• 代理人: 袁文英

本發(fā)明實(shí)施例適用于激光標(biāo)刻領(lǐng)域，提供了一種玻璃激光標(biāo)刻系統(tǒng)，其包括用于對(duì)玻璃板進(jìn)行激光標(biāo)刻的光路系統(tǒng)和用于定位玻璃板以及驅(qū)使光路系統(tǒng)在X軸和Z軸方向移動(dòng)的機(jī)械系統(tǒng)，光路系統(tǒng)安裝在機(jī)械系統(tǒng)上，機(jī)械系統(tǒng)包括機(jī)座、用于吸附玻璃板的吸附組件以及用于定位玻璃板的定位組件，吸附組件安裝在機(jī)座上，光路系統(tǒng)位于吸附組件上方，定位組件安裝在吸附組件上，定位組件包括用于對(duì)玻璃板進(jìn)行粗定位的機(jī)械定位裝置以及用于對(duì)玻璃板進(jìn)行精定位的CCD定位裝置。本發(fā)明通過(guò)機(jī)械定位裝置對(duì)玻璃板進(jìn)行粗定位以及通過(guò)CCD定位裝置對(duì)玻璃板進(jìn)行精定位，提高了玻璃板的定位精度，并進(jìn)一步提高玻璃板的加工精度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于激光標(biāo)刻技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種玻璃激光標(biāo)刻系統(tǒng)。

背景技術(shù)

ITO薄膜是指銦錫氧化物的半導(dǎo)體透明導(dǎo)電薄膜，通常將ITO薄膜鍍?cè)诓ＡЩ迳希浜穸确秶鸀?00-500nm。傳統(tǒng)的ITO刻線采用的是化學(xué)試劑刻蝕，這種方法主要是因其廢品率高、成本高而逐漸被淘汰。現(xiàn)在ITO刻線慢慢開(kāi)始偏向于成本低、無(wú)污染、易操作、良品率高的激光刻蝕技術(shù)。

新型的激光刻蝕方式是通過(guò)調(diào)節(jié)高能激光束的焦點(diǎn)位置，使其直接作用于ITO薄膜層，并調(diào)整激光能量，使得ITO層瞬間氣化而不影響基底玻璃面板，從而達(dá)到蝕刻的效果。激光蝕刻后均未對(duì)玻璃面板造成損傷，尺寸精度誤差在15um以?xún)?nèi)，且激光蝕刻設(shè)備相較于化學(xué)試劑刻蝕，設(shè)備體積更加小巧、易操作、成本低、良品率高，ITO激光刻蝕已逐漸成為行業(yè)中的主力軍,但目前的激光蝕刻設(shè)備的定位精度及加工精度仍無(wú)法滿足更加精細(xì)的生產(chǎn)技術(shù)要求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種玻璃激光標(biāo)刻系統(tǒng)，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中用激光標(biāo)刻玻璃板時(shí)定位精度以及加工精度不高的問(wèn)題。

本發(fā)明實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種玻璃激光標(biāo)刻系統(tǒng)，其包括用于對(duì)玻璃板進(jìn)行激光標(biāo)刻的光路系統(tǒng)和用于定位玻璃板以及驅(qū)使所述光路系統(tǒng)在X軸和Z軸方向移動(dòng)的機(jī)械系統(tǒng)，所述光路系統(tǒng)安裝在所述機(jī)械系統(tǒng)上；

所述機(jī)械系統(tǒng)包括機(jī)座、用于吸附玻璃板的吸附組件以及用于定位玻璃板的定位組件，所述吸附組件安裝在所述機(jī)座上，所述光路系統(tǒng)位于所述吸附組件上方，所述定位組件安裝在所述吸附組件上，所述定位組件包括用于對(duì)玻璃板進(jìn)行粗定位的機(jī)械定位裝置以及用于對(duì)玻璃板進(jìn)行精定位的CCD定位裝置，所述機(jī)械定位裝置和所述CCD定位裝置固定在所述吸附組件周?chē)?/p>

進(jìn)一步地，所述吸附組件包括用于承載和吸附玻璃板的吸附夾具、支撐所述吸附夾具的夾具支撐裝置以及用于對(duì)所述吸附夾具上的玻璃板進(jìn)行頂升的頂升裝置；

所述吸附夾具安裝于所述夾具支撐裝置上，所述頂升裝置設(shè)置于吸附夾具下方，所述頂升裝置包括若干個(gè)支撐柱、支撐板以及安裝于支撐板下方的升降機(jī)構(gòu)，所述支撐柱設(shè)置在所述支撐板上，所述支撐柱穿過(guò)所述吸附夾具，所述吸附夾具上開(kāi)設(shè)有與所述支撐柱對(duì)應(yīng)的通孔；

所述升降機(jī)構(gòu)包括升降支架、用于驅(qū)動(dòng)所述升降支架升降的升降氣缸、傳感器支架以及用于檢測(cè)玻璃板位置的傳感器，所述升降氣缸安裝于所述升降支架下方，所述傳感器支架安裝于所述升降支架上方，所述傳感器安裝在所述傳感器支架上，所述升降氣缸的活塞桿在玻璃板下料時(shí)推動(dòng)所述支撐板以及所述支撐柱向上移動(dòng)。

進(jìn)一步地，所述機(jī)械定位裝置設(shè)置于所述吸附夾具四周，所述機(jī)械定位裝置包括定位氣缸和定位柱，所述吸附夾具的相鄰兩個(gè)側(cè)面均設(shè)置有兩個(gè)所述定位氣缸，位于所述吸附夾具的同一個(gè)側(cè)面的兩個(gè)所述定位氣缸的對(duì)面分別對(duì)應(yīng)設(shè)置有若干個(gè)所述定位柱，所述定位氣缸能推動(dòng)所述玻璃板向所述定位柱方向移動(dòng)，并能抵靠于所述定位柱，所述定位柱和所述定位氣缸共同定位玻璃板。

進(jìn)一步地，所述CCD定位裝置設(shè)置于所述吸附夾具四周且位于所述吸附夾具下方，所述CCD定位裝置具有五組，其中四組所述CCD定位裝置分別位于所述吸附夾具的四個(gè)側(cè)面的中點(diǎn)處，第五組所述CCD定位裝置設(shè)置于所述吸附夾具其中一個(gè)側(cè)面的四分之一位置處。