[發明專利]一種高精度微掃描裝置在審
| 申請號： | 201910014447.7 | 申請日： | 2019-01-07 |
| 公開（公告）號： | CN109491078A | 公開（公告）日： | 2019-03-19 |
| 發明（設計）人： | 顧國華;朱琳;隋修寶;陳錢;李悟馨;袁錦飛;蔡貴霞;蔣桐;于雪蓮;錢惟賢;何偉基;花睿 | 申請（專利權）人： | 南京理工大學;南京理工晟奧光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G02B26/10 | 分類號： | G02B26/10 |
| 代理公司： | 南京理工大學專利中心 32203 | 代理人： | 吳茂杰 |
| 地址： | 210094 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 柔性鉸鏈 壓電陶瓷 高精度微掃描 二維位移 微掃描機構框架 垂直 | ||
1.一種高精度微掃描裝置，包括與微掃描機構框架(12)內側固定連接的第一壓電陶瓷(10)和第二壓電陶瓷(11)，其特征在于：
還包括二維位移框架(1)、第一柔性鉸鏈(2)和第二柔性鉸鏈(3)；
所述二維位移框架(1)一端通過第一柔性鉸鏈(2)與第一壓電陶瓷(10)相連，二維位移框架(1)與此相鄰的另一端通過第二柔性鉸鏈(3)與第二壓電陶瓷(11)相連；
所述第一柔性鉸鏈(2)與第二柔性鉸鏈(3)相互垂直。
2.根據權利要求1所述的高精度微掃描裝置，其特征在于：
所述二維位移框架(1)一端設有用于固定第一柔性鉸鏈(2)的第一螺旋孔(4)；
二維位移框架(1)與此相鄰的另一端設有用于固定第二柔性鉸鏈(3)的第二螺旋孔(5)。
3.根據權利要求1所述的高精度微掃描裝置，其特征在于：
所述第一壓電陶瓷(10)上設有用于固定第一柔性鉸鏈(2)的第三螺旋孔(6)；
所述第二壓電陶瓷(11)上設有用于固定第二柔性鉸鏈(3)的第四螺旋孔(7)。
4.根據權利要求1所述的高精度微掃描裝置，其特征在于：
所述第一壓電陶瓷(10)通過第五螺旋孔(8)與微掃描機構框架(12)固定連接，所述第二壓電陶瓷(11)通過第六螺旋孔(9)與微掃描機構框架(12)固定連接。
5.根據權利要求1至4之一所述的高精度微掃描裝置，其特征在于：
所述第一柔性鉸鏈(2)和/或第二柔性鉸鏈(3)為直圓型結構。
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