[發(fā)明專利]一種殺菌MEMS發(fā)光微鏡及殺菌方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910014257.5
• 申請日: 2019-01-08
• 公開（公告）號: CN109917541A
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發(fā)明（設計）人: 汪際軍
• 申請（專利權）人: 全普光電科技（上海）有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;A61L2/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明提供了一種殺菌MEMS發(fā)光微鏡及殺菌方法，利用反射鏡的快速旋轉來實現微觀掃描即像素級掃描，紫外發(fā)光元件隨著反射鏡的旋轉而旋轉，實現動態(tài)紫外光輻射，有效的提高了殺菌面積和殺菌效率。并且，由于將紫外發(fā)光器件與MEMS掃描微鏡芯片集成于一體，大大降低了器件尺寸，實現了器件的輕薄化。

技術領域

本發(fā)明涉及紫外殺菌技術領域，具體涉及一種殺菌MEMS發(fā)光微鏡及殺菌 方法。

背景技術

現有的紫外殺菌燈實際上時一種低壓汞燈。低壓汞燈利用較低汞蒸氣壓被 激化而發(fā)出紫外光線，主要有兩條，一條是253nm,一條是185nm。

紫外線消毒殺菌用途很廣，醫(yī)院、學校、托兒所、電影院、公交車、辦公 室、家庭等，它能凈化空氣，消除霉味，此經紫外線消毒的房間，空氣特別清 新。在公共場合，經紫外線消毒，可避免一些病菌經空氣傳播或經物體表面?zhèn)?播。

然而，一些國產不合格的紫外線燈不能提供消毒能力，紫外殺菌低壓汞燈 采用石英套管，其外壁需要經常清洗和維修。現有國產紫外線燈的最大功率為 4W，且有效壽命一般為1000～3000h，進口的可達8000～12000h，研制壽命長的 紫外燈是亟待解決的問題。

此外，現有的紫外殺菌器件體積大，發(fā)光面積有限、發(fā)光功率較大。因此， 隨著科技的進步和現代化水平提高，研究輕薄的、可以實現實時掃描且像素級 掃描的低功耗紫外殺菌器件是具有重要意義的。

發(fā)明內容

為了克服以上問題，本發(fā)明旨在提供一種紫外殺菌器件及殺菌方法，能夠 降低功耗，在低功率下實現動態(tài)高效的殺菌輻射。

為了達到上述目的，本發(fā)明提供了一種殺菌MEMS發(fā)光微鏡，包括：

MEMS掃描微鏡芯片，包含反射鏡；反射鏡懸浮在整個芯片中；

紫外光發(fā)射單元，設置于反射鏡中，用于向外界發(fā)射光束；其中，MEMS 掃描微鏡沿著扭臂進行擺動，每擺動一次，光發(fā)射單元隨之擺動并且發(fā)射出隨 之擺動的紫外光束，從而實現動態(tài)發(fā)光；并且紫外光束照射到物體或空氣中， 實現殺菌。

優(yōu)選地，所述反射鏡通過磁場懸浮在整個芯片中；或者所述MEMS掃描微 鏡芯片還具有扭臂；所述反射鏡通過扭臂懸架在整個芯片中。

優(yōu)選地，所述MEMS掃描微鏡芯片周圍設置有驅動電路單元，分別連接所 述扭臂和所述光發(fā)射單元，用于控制扭臂的旋轉和所述光反射單元的發(fā)光。

優(yōu)選地，所述光發(fā)射單元為紫外激光發(fā)射器。

優(yōu)選地，所述芯片具有溝槽，所述反射鏡置于所述溝槽中，并且通過扭臂 連接所述反射鏡外圍的芯片部分；所述反射鏡通過扭臂進行扭轉。

優(yōu)選地，環(huán)繞反射鏡的芯片中具有互連電路；所述互連電路連接所述反射 鏡和所述光發(fā)射單元；所述芯片至少包括：

處理器，與所述扭臂和所述光發(fā)射單元分別相電連，用于處理所述反射鏡 的驅動邏輯和所述光發(fā)射單元的信息傳輸邏輯。

優(yōu)選地，所述MEMS發(fā)光微鏡的厚度不大于500μm。

優(yōu)選地，所述MEMS掃描微鏡芯片為雙軸MEMS掃描微鏡芯片。

為了達到上述目的，本發(fā)明還提供了一種采用上述的殺菌MEMS發(fā)光微鏡 進行光發(fā)射的方法，其包括：所述反射鏡沿著扭臂進行擺動，同時紫外光發(fā)射 單元向外發(fā)射光束，并且伴隨著所述反射鏡的擺動，所發(fā)射的光束也進行擺動。

優(yōu)選地，所述反射鏡每擺動一次，所述紫外光發(fā)射單元向外發(fā)射一個角度 的光束；所述反射鏡在X方向擺動，使得所述紫外光發(fā)射單元向外發(fā)射出沿X 方向的光束，所述反射鏡在Y方向擺動一次，所述紫外光發(fā)射單元向外發(fā)射的 光束沿Y方向移動一次。