[發(fā)明專利]一種適用于VAD法沉積的噴燈

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910012989.0
• 申請日: 2019-01-07
• 公開（公告）號: CN109694185B
• 公開（公告）日: 2021-10-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金霧;田錦成;伍淑堅;梁后杰
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢烽火銳拓科技有限公司
• 主分類號: C03B37/014
• 分類號: C03B37/014
• 代理公司: 武漢智權(quán)專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 42225
• 代理人: 邱云雷

1.一種適用于VAD法沉積的噴燈，其特征在于：包括燈體(1)，所述燈體(1)上開設(shè)有呈一字型的供料孔(2)以及圍繞在所述供料孔(2)外側(cè)的多層環(huán)形氣孔；所述多層環(huán)形氣孔的形狀與所述供料孔(2)的形狀相適配，其包括從內(nèi)向外依次布置的內(nèi)層隔離氣孔(3)、內(nèi)層火焰孔、外層火焰孔和外層隔離氣孔(8)；內(nèi)層火焰孔包括內(nèi)層氫氣孔(4)和內(nèi)層氧氣孔(5)，外層火焰孔包括外層氫氣孔(6)和外層氧氣孔(7)；所述供料孔(2)、內(nèi)層氫氣孔(4)、內(nèi)層氧氣孔(5)、外層氫氣孔(6)和外層氧氣孔(7)分別被分隔并形成多個支孔；所述支孔、內(nèi)層隔離氣孔(3)和外層隔離氣孔(8)分別連通有進氣管道(10)，所述進氣管道(10)上設(shè)有流量調(diào)節(jié)閥(11)；

所述噴燈還包括控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)與所述流量調(diào)節(jié)閥(11)相連，并用于控制所述流量調(diào)節(jié)閥(11)調(diào)節(jié)對應(yīng)支孔內(nèi)的氣體流量；

所述噴燈還包括用于實時監(jiān)測粉棒(9)沉積端面溫度場的紅外熱成像儀(12)，所述控制系統(tǒng)與所述紅外熱成像儀(12)相連，其還用于接收所述紅外熱成像儀(12)傳輸?shù)臄?shù)據(jù)，并根據(jù)該數(shù)據(jù)調(diào)節(jié)外層氫氣孔(6)所包含的支孔對應(yīng)的流量調(diào)節(jié)閥(11)；

所述噴燈還包括遠紅外定向輻射器(13)，所述控制系統(tǒng)與所述遠紅外定向輻射器(13)相連，其還用于控制所述遠紅外定向輻射器(13)加熱粉棒(9)沉積端面。

2.如權(quán)利要求1所述的適用于VAD法沉積的噴燈，其特征在于：所述供料孔(2)所包含的各個支孔的噴射方向與粉棒(9)沉積端面大致垂直。

3.如權(quán)利要求1所述的適用于VAD法沉積的噴燈，其特征在于：所述供料孔(2)呈矩形結(jié)構(gòu)，所述內(nèi)層隔離氣孔(3)、內(nèi)層氫氣孔(4)、內(nèi)層氧氣孔(5)、外層氫氣孔(6)、外層氧氣孔(7)和外層隔離氣孔(8)均呈矩形環(huán)狀結(jié)構(gòu)。

4.如權(quán)利要求1所述的適用于VAD法沉積的噴燈，其特征在于：所述內(nèi)層火焰孔包括一層內(nèi)層氫氣孔(4)和一層內(nèi)層氧氣孔(5)，所述內(nèi)層氫氣孔(4)位于內(nèi)層氧氣孔(5)內(nèi)側(cè)。

5.如權(quán)利要求1所述的適用于VAD法沉積的噴燈，其特征在于：所述外層火焰孔包括一層外層氫氣孔(6)和一層外層氧氣孔(7)，所述外層氫氣孔(6)位于外層氧氣孔(7)內(nèi)側(cè)。

6.如權(quán)利要求1所述的適用于VAD法沉積的噴燈，其特征在于：所述燈體(1)朝向粉棒(9)沉積端面的端面呈與粉棒(9)沉積端面相適配的曲面。

7.如權(quán)利要求6所述的適用于VAD法沉積的噴燈，其特征在于：所述曲面為弧面。