[發明專利]一種橡膠基復合材料及其制備方法有效
| 申請號： | 201910011291.7 | 申請日： | 2019-01-07 |
| 公開（公告）號： | CN109503879B | 公開（公告）日： | 2020-10-23 |
| 發明（設計）人： | 強力;張俊彥;張斌;高凱雄;白常寧 | 申請（專利權）人： | 中國科學院蘭州化學物理研究所 |
| 主分類號： | C08J7/06 | 分類號： | C08J7/06;C23C14/06;C23C14/20;C23C14/35;C08L27/12;C08L9/02;C08L83/04 |
| 代理公司： | 北京智客聯合知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11700 | 代理人： | 李戍 |
| 地址： | 730000 甘*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 橡膠 復合材料 及其 制備 方法 | ||
1.一種橡膠基復合材料，其特征在于，所述橡膠基復合材料包括橡膠基底；
在橡膠基底上交替沉積的金屬層和陶瓷層；
以及，作為最外層的摻陶瓷碳層；
所述金屬層為Al層或Cu層；
所述陶瓷層為SiC層或WC層；
所述摻陶瓷碳層為摻SiC或WC的碳層。
2.如權利要求1所述的橡膠基復合材料，其特征在于：所述橡膠基底為氟橡膠、丁腈橡膠、硅橡膠中的任意一種。
3.如權利要求2所述的橡膠基復合材料，其特征在于：所述橡膠基底的表面光潔度Ra＜200nm。
4.如權利要求1所述的橡膠基復合材料，其特征在于：所述摻陶瓷碳層為摻SiC或WC納米顆粒的碳層。
5.如權利要求1所述的橡膠基復合材料，其特征在于：交替沉積的金屬層和陶瓷層共有4～10層。
6.權利要求1～5任一所述的橡膠基復合材料的制備方法，包括：
在橡膠基底上交替沉積金屬層和陶瓷層；
以及，沉積摻陶瓷碳層。
7.如權利要求6所述的制備方法，其特征在于：所述沉積的方式為真空濺射沉積。
8.如權利要求7所述的制備方法，其特征在于：
沉積金屬層時采用金屬靶，靶基距為8～12cm，靶電流為1～2A，氬氣流量為80sccm，基底偏壓為-300V，氣壓為1.5Pa，占空比為60%，頻率為60KHz，時間為20～25min；
沉積陶瓷層時采用陶瓷靶，靶基距為8～12cm，靶電流為5A，氬氣流量為120sccm，基底偏壓≥-900V，氣壓為1.5Pa，占空比為60%，頻率為60KHz，時間為15min；
沉積摻陶瓷碳層時采用陶瓷靶，靶基距為8～12cm，靶電流為3A，氬氣流量為45～60sccm，Ar/CH4的流量比為1.5/1，基底偏壓為-700V，氣壓為1～1.5Pa，占空比為40～45%，頻率為60～70KHz，沉積時間為120～150min。
9.如權利要求8所述的制備方法，其特征在于：橡膠基底依次用氬等離子體和霍爾離子源轟擊處理。
10.權利要求1～5任一所述的橡膠基復合材料的應用，其特征在于：所述的橡膠基復合材料在制備密封件中的應用。
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