[發明專利]一種玻璃減薄行業含氟玻璃減薄廢液在線回收再利用的方法

在審

• 申請號: 201910007276.5
• 申請日: 2019-01-04
• 公開（公告）號: CN109626646A
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發明（設計）人: 尹云艦;劉志彪;邢攸美
• 申請（專利權）人: 杭州格林達電子材料股份有限公司
• 主分類號: C02F9/04
• 分類號: C02F9/04;C02F101/14
• 代理公司: 杭州賽科專利代理事務所(普通合伙) 33230
• 代理人: 施王蓉

本發明涉及一種玻璃減薄行業含氟玻璃減薄廢液在線回收再利用的方法：(1)分析含氟玻璃減薄廢液的各種酸組分含量；(2)在不斷攪拌下，按摩爾計量比將有機酸堿金屬鹽添加到含氟玻璃減薄廢液中進行混合；(3)待沉淀沉降后，從底部分離出沉淀物，經過清洗、脫水、干燥后得到氟硅酸堿金屬鹽固體物；(4)從上部分離出有機酸，經過堿金屬氫氧化物皂化、干燥后得到有機酸堿金屬鹽；(5)對中部分離的經過處理的含氟液通過補加氫氟酸和其他有用酸組分，使其符合原玻璃減薄制程中蝕刻液各組分含量后，經過微濾，返回到原制程中繼續使用。本發明不會給處理后的回收液帶入陰離子，反應過程溫和，安全可靠。

技術領域

本發明涉及一種玻璃減薄行業含氟玻璃減薄廢液在線回收再利用的方法，屬于玻璃減薄行業玻璃減薄廢液回收再利用技術領域。

背景技術

隨著現代科技的高速發展，電子顯示設備越來越趨向于輕薄化，顯示玻璃屏的厚度已經從1996年的1.1mm降到目前的0.5mm，特表是手機、平板等便攜電子設備應用的玻璃屏甚至降到0.3mm以下。在顯示玻璃屏的制作工藝中，玻璃基板的薄化處理是確保該工藝完成的重要環節，減薄效果的好壞將直接影響產品的質量。

目前酸蝕刻處理是最常用的玻璃減薄方法，其酸組成有HF單酸系、HF-硫酸/鹽酸系、HF-氟化氫銨/硫酸/鹽酸系等，主要原理就是用含HF的混合酸液與玻璃表面的SiO₂以及其它金屬氧化物發生反應，使得玻璃表面發生剝離，實現玻璃減薄以及表面強化目的。添加鹽酸或硫酸可增加體系氫離子濃度，提高蝕刻速率，而氟化氫銨作為緩沖劑可確保穩定的氟離子濃度，保證蝕刻速率的穩定。

隨著反應的進行，減薄液中HF濃度逐漸降低，而體系中的氟硅酸含量不斷增加，氟硅酸濃度增加不僅僅使得體系蝕刻能力下降，同時能造成基板表面蝕刻不勻，導致產品質量下降及蝕刻處理時間增長，從而使得減薄液無法繼續使用而造成廢液排放。

玻璃減薄廢液作為行業危廢液體，目前其處理主要采用石灰或石灰石中和處置法。這類方法可以使廢液中的F-、SiF62-離子以及PH值等達標排放，但這一過程會產生大量的含CaSO₄、CaF₂的混合固體，這一固體屬于危險廢物，增加了后續處置的成本(處理費≥2000元/t)，且浪費了廢液中大量未反應的HF及其他有用酸原料。

現有技術的缺點：

現有國內外對氫氟酸廢液的處理技術有很多，具體歸類為以下幾種：

專利CN 201610277659.0公開了一種含氟廢液中氟的環保分離回收方法，具體為在含氟廢液中加入含鎂化合物作沉淀劑，使其中的氟選擇性沉淀析出，過濾得脫氟后液和氟化鎂沉淀物；脫氟后液用于廢水回用，氟化鎂沉淀物用硫酸分解得氟的系列化合物，分解殘余物則通過溶解-結晶處理得硫酸鎂晶體，所得硫酸鎂晶體返回氟選擇性沉淀析出工序循環使用，而硫酸鎂的結晶母液則返回溶解-結晶工序或返回氟化鎂沉淀物分解工序繼續使用。該方法主要通過沉淀、結晶等處理方法，將廢液中的氟取出得到氟化學品，但該工藝步驟較為繁瑣，處理過程不夠經濟，同時也浪費了其他酸組分的回收再利用。

專利CN 201410096999.4公開了一種含氟廢水的處理方法，具體為采用精餾系統進行回收處理，其廢水處理精餾系統包括精餾釜、填料精餾塔、冷凝器和貯液器，其方法為將含氟廢水從精餾釜的廢液進口通入，同時將吸水溶劑從溶劑進口通入，從出氣口采出氟化氫，當填料精餾塔塔頂溫度高于氟化氫采出溫度時，停止采集；逐步升高精餾釜溫度至80～150℃、0.110～0.120MPa，從出氣口采出三氟乙酸，當填料精餾塔塔頂溫度高于三氟乙酸采出溫度時，停止采集。該方法通過蒸餾將廢液中的氟取出得到其他氟化學品，但應用過程中使用蒸餾方法，不但能耗大，不夠經濟，而且高溫操作對人員及設備都大大增加了危險性，同時也有浪費了其他酸組分的回收再利用的缺點。