[發明專利]一種微型表面結構加工的設備及方法在審
| 申請號： | 201910002703.0 | 申請日： | 2019-01-02 |
| 公開（公告）號： | CN109702487A | 公開（公告）日： | 2019-05-03 |
| 發明（設計）人： | 肖貴堅;黃云;羅遠新;李偉 | 申請（專利權）人： | 重慶大學 |
| 主分類號： | B23P23/00 | 分類號： | B23P23/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 羅滿 |
| 地址： | 400000 *** | 國省代碼： | 重慶;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拋磨 激光刻蝕裝置 處理器件 結構加工 拋磨裝置 微型表面 激光頭 懸掛架 固定裝置 控制升降 臺座 第一驅動機構 表面完整性 表面微結構 激光刻蝕 技術手段 驅動機構 依次設置 支撐 | ||
1.一種微型表面結構加工的設備，其特征在于，所述微型表面結構加工的設備包括表面拋磨裝置、激光刻蝕裝置、器件固定裝置懸掛架及臺座；
所述表面拋磨裝置及所述激光刻蝕裝置依次設置在所述懸掛架上；所述臺座支撐所述懸掛架；
所述表面拋磨裝置包括拋磨頭，所述拋磨頭用于對待處理器件進行表面拋磨；所述拋磨頭通過第一驅動機構控制升降；
所述激光刻蝕裝置包括激光頭，所述激光頭用于對所述待處理器件進行激光刻蝕；所述激光頭通過第二驅動機構控制升降；
所述器件固定裝置用于固定所述待處理器件。
2.如權利要求1所述的微型表面結構加工的設備，其特征在于，所述器件固定裝置底部裝有滑動裝置，所述滑動裝置可使所述器件固定裝置平穩地在水平方向上移動。
3.如權利要求2所述的微型表面結構加工的設備，其特征在于，所述滑動裝置包括定位裝置，所述定位裝置可將所述器件固定裝置固定在相對于所述表面拋磨裝置和/或激光刻蝕裝置的預設位置。
4.如權利要求3所述的微型表面結構加工的設備，其特征在于，所述滑動裝置為滑輪及滑軌；所述滑輪可固定在所述滑軌上沿滑軌方向移動。
5.如權利要求1所述的微型表面結構加工的設備，其特征在于，所述第一驅動機構及第二驅動機構為氣動泵。
6.如權利要求1所述的微型表面結構加工的設備，其特征在于，所述表面拋磨裝置為砂帶磨削裝置。
7.一種微型表面結構的加工方法，其特征在于，包括：
提供待處理器件；
對所述待處理器件進行表面拋磨；
對經過表面拋磨的待處理器件進行激光刻蝕，得到具有預設圖案的成品器件。
8.如權利要求7所述的微型表面結構的加工方法，其特征在于，所述表面拋磨為多角度表面拋磨。
9.如權利要求8所述的微型表面結構的加工方法，其特征在于，所述表面拋磨為砂帶磨削。
10.如權利要求9所述的微型表面結構的加工方法，其特征在于，所述對所述待處理器件進行表面拋磨包括：
對所述待處理器件進行表面的粗磨；
對經過粗磨的待處理器件進行表面的精磨；
對經過精磨的待處理器件進行表面的拋光。
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