[發(fā)明專利]作為致動器的彎曲換能器、作為傳感器的彎曲換能器、以及彎曲換能器系統(tǒng)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201880100132.8 | 申請日: | 2018-10-16 |
| 公開(公告)號: | CN113195399A | 公開(公告)日: | 2021-07-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 赫爾曼·謝爾克;伯特·凱瑟;盧茨·埃里格 | 申請(專利權(quán))人: | 弗勞恩霍夫應用研究促進協(xié)會 |
| 主分類號: | B81B3/00 | 分類號: | B81B3/00;H02N1/00 |
| 代理公司: | 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 宋融冰 |
| 地址: | 德國*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 作為 致動器 彎曲 換能器 傳感器 以及 系統(tǒng) | ||
1.一種具有可偏轉(zhuǎn)元件(110,110a-n,1120,1220,1300)的作為致動器的彎曲換能器(100,100a-n,730a-n),包括
·沿著所述可偏轉(zhuǎn)元件的質(zhì)心纖維(130,130a)延伸的微機電換能器(141,141a-b,1016a),當施加第一電信號(US,US1,USignal,USignal1)時所述微機電換能器在第一方向(161,161b)上使所述可偏轉(zhuǎn)元件(110,110a-n,1120,1220,1300)偏轉(zhuǎn),以及
·沿著所述質(zhì)心纖維(130,130a)延伸的第二微機電換能器(142,142a-b,1016b),當施加第二電信號(US,US2,USignal,USignal2)時所述第二微機電換能器在與所述第一方向相反的第二方向(162,162b)上使所述可偏轉(zhuǎn)元件偏轉(zhuǎn),
所述質(zhì)心纖維(130,130a)位于彼此背對的第一微機電換能器和第二微機電換能器(141,141a-b,142,142a-b,1016a,1016b)的側(cè)面之間,以及
電控制件(120,1013a),被配置為根據(jù)輸入信號(UE,UEa-UEd,Uin,Uin1-Uin3)改變所述第一電信號(US,US1,USignal,USignal1)和所述第二電信號(US,US2,USignal,USignal2),使得所述第一電信號(US,US1,USignal,USignal1)的變化和所述第二電信號(US,US2,USignal,USignal2)的變化取決于所述電輸入信號(UE,UEa-UEd,Uin,Uin1-Uin3),且所述第一電信號和第二電信號(US,US1,US2,USignal,USignal1,USignal2)的相位相對于彼此偏移。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彎曲換能器(100,100a-n,300,300a-n,730a-n,840,840a-n),其中所述第一微機電換能器(141,141a-b,1016a)和所述第二微機電換能器(142,142a-b,1016b)包括沿著所述可偏轉(zhuǎn)元件的縱向方向分段(169)的板電容器。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的彎曲換能器(100,100a-n,300,300a-n,730a-n,840,840a-n),其中第一板電容器和第二板電容器的電極(151-154,151a-154a)被配置為交叉指型。
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