[發(fā)明專利]試樣測定裝置、程序及測定參數(shù)設(shè)定支持裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880099710.0
• 申請日: 2018-11-29
• 公開（公告）號: CN113167776A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 野田陽
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: G01N30/86
• 分類號: G01N30/86;G01N30/02;G01N30/52
• 代理公司: 北京派特恩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 薛恒;徐川

本發(fā)明的試樣測定裝置包括：測定部(1)，進(jìn)行試樣的測定；以及控制部(2)，對由測定部所得的測定結(jié)果進(jìn)行分析。控制部(2)構(gòu)成為基于由測定參數(shù)的條件互不相同的多個測定條件所得的測定結(jié)果，使用模型式來推定并獲取其他測定條件下的測定結(jié)果，并且基于所推定出的測定結(jié)果來推定測定品質(zhì)指標(biāo)相對于測定參數(shù)的分布。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種試樣測定裝置、程序及測定參數(shù)設(shè)定支持裝置。

背景技術(shù)

以往，已知有試樣測定裝置。試樣測定裝置例如在日本專利特開2015-166726號公報中有所公開。

所述日本專利特開2015-166726號公報中公開了一種進(jìn)行試樣的分析的色譜儀(試樣測定裝置)。而且，所述日本專利特開2015-166726號公報中公開了一種色譜儀用數(shù)據(jù)處理裝置，此色譜儀用數(shù)據(jù)處理裝置在針對一個試樣進(jìn)行多個條件下的分析而探索最適于試樣的分析條件的方法探索(method scouting)中，在針對分析條件的多個參數(shù)進(jìn)行變更時，顯示未研究的分析條件的列表。

而且，以往已知有下述品質(zhì)管理方法，即：以響應(yīng)曲面的形式求出用于試樣分析的參數(shù)與品質(zhì)指標(biāo)的關(guān)系，以設(shè)計空間(design space)的形式算出設(shè)計上容許的參數(shù)的范圍。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)]

專利文獻(xiàn)1：日本專利特開2015-166726號公報

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明所要解決的問題]

所述以往的算出設(shè)計空間的品質(zhì)管理方法中，在基于若干測定點(diǎn)應(yīng)用模型式來制作響應(yīng)曲面時，若增多測定點(diǎn)數(shù)則響應(yīng)曲面的精度變高，若測定點(diǎn)數(shù)少則精度降低。因此，需要取充分多的測定點(diǎn)而高精度地算出設(shè)計空間。或者，需要對設(shè)計空間設(shè)定充分的安全率。即，需要對根據(jù)測定結(jié)果所算出的設(shè)計空間設(shè)定安全率，適當(dāng)縮窄設(shè)計空間的范圍。另一方面，所述日本專利特開2015-166726號公報的色譜儀用數(shù)據(jù)處理裝置中，在探索最適于試樣的分析條件的方法探索中，在針對分析條件的多個參數(shù)進(jìn)行變更時，可顯示未研究的分析條件的列表，因而可容易地決定下一個進(jìn)行分析的分析條件的測定點(diǎn)。但是，即便是在所述日本專利特開2015-166726號公報的色譜儀用數(shù)據(jù)處理裝置中，為了高精度地算出設(shè)計空間也難以抑制分析條件的測定點(diǎn)數(shù)變多。而且，若為品質(zhì)指標(biāo)相對于參數(shù)成為線性關(guān)系的情況，則不難根據(jù)經(jīng)驗設(shè)定適當(dāng)?shù)陌踩剩谧鳛樯V儀的品質(zhì)指標(biāo)的分離度那樣品質(zhì)指標(biāo)相對于參數(shù)成為非線性關(guān)系的情況下，難以設(shè)定不過于縮窄設(shè)計空間的必要充分的安全率。這些情況的結(jié)果為，難以高精度地算出設(shè)計空間。因此，期望抑制分析條件的測定點(diǎn)數(shù)變多，并且高精度地算出容許的設(shè)計空間(測定參數(shù)的范圍)。

本發(fā)明是為了解決所述那樣的課題而成，本發(fā)明的一個目的在于提供一種試樣測定裝置、程序及測定參數(shù)設(shè)定支持裝置，能夠抑制測定點(diǎn)數(shù)變多并且高精度地算出容許的測定參數(shù)的范圍。

[解決問題的技術(shù)手段]

為了達(dá)成所述目的，本發(fā)明的第一方面的試樣測定裝置包括：測定部，進(jìn)行試樣的測定；以及控制部，對由測定部所得的測定結(jié)果進(jìn)行分析；且控制部構(gòu)成為基于由測定參數(shù)的條件互不相同的多個測定條件所得的測定結(jié)果，使用模型式來推定并獲取其他測定條件下的測定結(jié)果，并且基于所推定出的測定結(jié)果來推定測定品質(zhì)指標(biāo)相對于測定參數(shù)的分布。