[發明專利]計測裝置、計測方法和顯微鏡系統

在審

• 申請號: 201880098344.7
• 申請日: 2018-10-09
• 公開（公告）號: CN112805607A
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發明（設計）人: 古賀隼一
• 申請（專利權）人: 奧林巴斯株式會社
• 主分類號: G02B21/00
• 分類號: G02B21/00;G01B11/02;G02B21/24;G02B21/36
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 孫明浩;崔成哲

1.一種計測裝置，其具備：

攝像部，其具備至少物體側為遠心的光學系統，并取得被攝體的圖像；

旋轉移動部，其使所述攝像部和所述被攝體繞與所述光學系統的光軸交叉的軸線相對地旋轉移動；

角度檢測部，其檢測通過該旋轉移動部進行旋轉的旋轉角度；以及

計算部，其基于在通過所述旋轉移動部進行的旋轉移動前后由所述攝像部取得的2張所述圖像和由所述角度檢測部檢測出的所述旋轉角度，計算所述被攝體的高度尺寸。

2.根據權利要求1所述的計測裝置，其中，

所述被攝體被固定在所述光軸上，

所述旋轉移動部使所述攝像部繞所述軸線旋轉移動。

3.根據權利要求1所述的計測裝置，其中，

所述攝像部被固定為使得所述被攝體被配置在所述光軸上，

所述旋轉移動部使所述被攝體繞所述軸線旋轉移動。

4.根據權利要求1至3中的任意一項所述的計測裝置，其中，

所述計算部通過匹配處理來確定2張所述圖像上的同一關注點的與所述光軸正交的2個方向上的坐標。

5.根據權利要求1至4中的任意一項所述的計測裝置，其中，

所述計算部針對所述旋轉角度不同的多對所述圖像分別計算高度尺寸，并計算所計算出的多個高度尺寸的統計值作為所述被攝體的高度尺寸。

6.根據權利要求1所述的計測裝置，其中，

所述計算部計算2張所述圖像上的多個同一關注點的三維坐標值。

7.根據權利要求6所述的計測裝置，其中，

所述計算部使用所述三維坐標值生成三維形狀信息。

8.根據權利要求6或7所述的計測裝置，其中，

所述計算部針對所述旋轉角度不同的多對所述圖像分別計算所述三維坐標值，并對計算出的所述三維坐標值進行綜合。

9.根據權利要求8所述的計測裝置，其中，

所述計算部在對計算出的所述三維坐標值進行綜合時，使用由所述角度檢測部檢測出的所述旋轉角度來進行所述三維坐標值之間的位置對準。

10.根據權利要求8所述的計測裝置，其中，

所述計測裝置具有顯示部，所述顯示部顯示計算出所述三維坐標值的多個所述同一關注點，

所述計算部在每次由所述攝像部取得2張所述圖像時計算所述三維坐標值。

11.一種計測方法，其具有如下步驟：

將攝像部和被攝體配置為繞與光學系統的光軸交叉的軸線的第1旋轉角度，并通過所述攝像部取得第1圖像，其中，所述攝像部具備至少物體側為遠心的所述光學系統并取得所述被攝體的圖像；

將所述攝像部和所述被攝體配置為繞所述軸線的第2旋轉角度，并通過所述攝像部取得第2圖像；以及

基于由所述攝像部取得的所述第1圖像和所述第2圖像、以及所述第1旋轉角度與所述第2旋轉角度的差分，計算所述被攝體的高度尺寸。

12.一種顯微鏡系統，其具備顯微鏡和圖像處理裝置，

所述顯微鏡具備：

載臺，其搭載被攝體；

攝像部，其具備至少物體側為遠心的物鏡光學系統，并取得所述被攝體的圖像；

旋轉移動部，其使所述攝像部和所述載臺繞與所述物鏡光學系統的光軸交叉的軸線相對地旋轉移動；以及

角度檢測部，其檢測通過該旋轉移動部而使所述攝像部與所述載臺進行旋轉的旋轉角度，

所述圖像處理裝置基于在通過所述旋轉移動部進行的旋轉移動前后由所述攝像部取得的2張所述圖像和由所述角度檢測部檢測出的所述旋轉角度，計算所述被攝體的高度尺寸。