[發明專利]連接的場效應晶體管

在審

• 申請號: 201880097969.1
• 申請日: 2018-09-24
• 公開（公告）號: CN112703597A
• 公開（公告）日: 2021-04-23
• 發明（設計）人: E·馬丁;R·西西利;T·亞馬施塔
• 申請（專利權）人: 惠普發展公司;有限責任合伙企業
• 主分類號: H01L27/105
• 分類號: H01L27/105;B41J2/175
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 史婧;王瑋

示例包括流體模具。流體模具包括場效應晶體管陣列，該陣列包括第一尺寸的場效應晶體管和第二尺寸的場效應晶體管。至少一個連接構件將場效應晶體管陣列的至少一些場效應晶體管互連。流體模具還包括連接到第一組場效應晶體管的第一流體致動器，該第一組場效應晶體管具有至少一個第一尺寸的場效應晶體管。模具包括第二流體致動器，該第二流體致動器連接到第二相應的場效應晶體管組，該第二相應的場效應晶體管組具有與陣列的至少一個其他場效應晶體管互連的第二尺寸的第一相應的場效應晶體管。

背景技術

流體模具可以處理小體積流體。例如，流體模具的噴嘴可以有助于噴射液滴。在一些流體模具中，各種電氣部件可用于分析、輸送和/或執行用于流體模具的流體的其他這樣的過程。因此，電氣部件的各種布置可以在流體模具中實施，以實現和控制這種過程的性能。一些示例性流體模具可以是流體噴射模具，其中可以經由流體噴射模具的噴嘴可控地噴射液滴。

附圖說明

圖1是圖示示例性流體模具的一些部件的框圖。

圖2是圖示示例性流體模具的一些部件的框圖。

圖3是圖示示例性流體模具的一些部件的邏輯圖。

圖4是圖示示例性流體模具的一些部件的框圖。

圖5是圖示示例性流體模具的一些部件的框圖。

圖6是圖示示例性流體模具的一些部件的邏輯圖。

圖7是圖示示例性流體模具的一些部件的邏輯圖。

圖8是圖示示例性流體模具的一些部件的框圖。

圖9是圖示示例性流體模具的一些部件的框圖。

圖10是圖示示例性流體模具的一些部件的框圖。

圖11是圖示示例性流體模具的一些部件的框圖。

圖12是圖示示例過程的示例操作序列的流程圖。

圖13是圖示示例過程的示例操作序列的流程圖。

圖14A-C是圖示示例過程的框圖。

在所有附圖中，相同的附圖標記表示相似但不一定相同的元件。附圖不一定按比例繪制，并且一些部分的尺寸可能被放大以更清楚地說明所示的示例。此外，附圖提供了與描述一致的示例和/或實施方式；然而，描述不限于附圖中提供的示例和/或實施方式。

具體實施方式

流體模具的示例可以包括流體致動器。流體致動器可包括基于壓電膜的致動器、基于熱敏電阻器的致動器、靜電膜致動器、機械/沖擊驅動的膜致動器、磁致伸縮驅動致動器或可響應于電致動而引起流體位移的其他這種元件。為了控制這種流體致動器的致動，示例可以進一步包可以連接到流體致動器的場效應晶體管（FET）。因此，連接的FET的電氣控制可以實現流體模具的流體致動器的選擇性控制。

流體致動器可以布置在相應的流體致動器組中，其中每個這樣的流體致動器組可以被稱為“基元（primitive）”或“點火基元（firing primitive）”?；ǔ０黧w致動器的集合，每個致動器具有唯一的致動地址。在一些示例中，流體模具的電氣和流體約束可以限制對于給定的致動事件，每個基元的哪些流體致動器可以被同時致動。因此，基元有助于尋址和隨后致動流體噴射器子集，這些子集可以針對給定的致動事件被同時致動。為了在基元內尋址流體致動器，場效應晶體管可以類似地布置。因此，通過使能場效應晶體管的柵極來尋址場效應晶體管，可以引起連接到場效應晶體管的流體致動器的電致動。 因此，對于流體致動器的每個基元，流體模具可以包括場效應晶體管的基元。