[發明專利]電子束裝置

在審

• 申請號: 201880096799.5
• 申請日: 2018-09-11
• 公開（公告）號: CN112602164A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 莊子美南;津野夏規;揚村壽英
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: H01J37/28
• 分類號: H01J37/28
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 韓丁

1.一種電子束裝置，具有：

電子光學系統，向試樣照射電子束，對從試樣釋放的釋放電子進行檢測；

光脈沖照射系統，向所述試樣照射光脈沖；

同步處理部，在所述電子光學系統中，與所述電子束的偏轉信號同步地進行所述釋放電子的檢測采樣；

圖像信號處理部，根據基于所述電子光學系統所檢測到的所述釋放電子而輸出的檢測信號來形成圖像；和

裝置控制部，設定所述電子光學系統的控制條件，

若將所述電子束掃描相當于所述圖像的一個像素的所述試樣的區域所需的時間設為單位像素時間，則所述裝置控制部將進行所述釋放電子的檢測采樣的采樣頻率設定為比每個所述單位像素時間的所述光脈沖的照射數除以所述單位像素時間得到的值大。

2.根據權利要求1所述的電子束裝置，其中，

以通過所述裝置控制部而設定的采樣頻率，按每一個像素而將基于所述電子光學系統所檢測到的所述釋放電子而輸出的所述檢測信號平均化，在所述圖像信號處理部中形成所述圖像。

3.根據權利要求1所述的電子束裝置，其中，

所述電子束裝置具有：光脈沖照射設定部，對所述光脈沖照射系統的控制條件進行設定，

作為所述光脈沖照射系統的控制條件，包含所述光脈沖的波長、強度、照射時間寬度以及照射間隔時間。

4.根據權利要求3所述的電子束裝置，其中，

所述光脈沖照射設定部對第1光照射條件、以及與所述第1光照射條件不同的第2光照射條件進行設定，

所述圖像信號處理部形成第1檢測信號與第2檢測信號的差圖像，所述第1檢測信號是基于在所述第1光照射條件下將所述光脈沖向所述試樣照射從而所述電子光學系統所檢測到的所述釋放電子而輸出的信號，所述第2檢測信號是基于在所述第2光照射條件下將所述光脈沖向所述試樣照射從而所述電子光學系統所檢測到的所述釋放電子而輸出的信號。

5.根據權利要求4所述的電子束裝置，其中，

所述圖像信號處理部基于所述第1檢測信號與所述第2檢測信號的差分值來形成所述差圖像，或者進行根據所述第1檢測信號而形成的第1圖像與根據所述第2檢測信號而形成的第2圖像的差分處理來形成所述差圖像。

6.根據權利要求4所述的電子束裝置，其中，

進行通過所述裝置控制部而設定的所述釋放電子的檢測采樣的采樣頻率對于所述第1光照射條件以及所述第2光照射條件的任何條件，都比每所述單位像素時間的所述光脈沖的照射數除以所述單位像素時間得到的值大。

7.根據權利要求4所述的電子束裝置，其中，

所述電子束裝置具有圖像顯示部，

所述裝置控制部在所述圖像顯示部顯示所述差圖像。

8.根據權利要求4所述的電子束裝置，其中，

所述光脈沖照射設定部對所述第1光照射條件、以及所述光脈沖的照射間隔時間與所述第1光照射條件不同的所述第2光照射條件進行設定。

9.根據權利要求4所述的電子束裝置，其中，

所述光脈沖照射設定部對所述第1光照射條件、以及所述光脈沖的波長與所述第1光照射條件不同的所述第2光照射條件進行設定。

10.根據權利要求4所述的電子束裝置，其中，

所述光脈沖照射設定部對所述光脈沖的照射間隔時間不同的多個光照射條件進行設定，

所述裝置控制部基于所述檢測信號的信號量的變化，求取所述試樣的時間常數，所述檢測信號是基于在所述多個光照射條件下將所述光脈沖向所述試樣照射從而所述電子光學系統所檢測到的所述釋放電子而輸出的信號。