[發明專利]掃描速度動態變化的SEM引導的AFM形貌掃描方法在審
| 申請號： | 201880095092.2 | 申請日： | 2018-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN112955996A | 公開（公告）日： | 2021-06-11 |
| 發明（設計）人： | 孫鈺;陳俊;陳科綸;王天驄 | 申請（專利權）人： | 江蘇集萃微納自動化系統與裝備技術研究所有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/26 | 分類號： | H01J37/26 |
| 代理公司： | 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 楊慧林 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州市相城區高*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 掃描 速度 動態 變化 sem 引導 afm 形貌 方法 | ||
1.一種掃描速度動態變化的SEM引導的AFM形貌掃描方法,根據SEM圖像中提取的在前形貌信息，在每個采樣點改變AFM成像掃描速度,其特征在于，包括：
(a)利用圖像處理算法生成特征度量圖，所述圖像處理算法用于從SEM圖像中識別和定位形貌特征；
(b)將所述特征度量圖轉換為AFM掃描速度圖；
(c)基于AFM掃描速度圖為每個采樣點設置掃描速度，對樣品上具有最小形貌特征的位置使用高掃描速度，對樣品上具有豐富形貌特征的位置使用低掃描速度。
2.根據權利要求1所述的掃描速度動態變化的SEM引導的AFM形貌掃描方法，其特征在于：所述SEM圖像是使用次級電子成像模式捕獲。
3.根據權利要求1所述的掃描速度動態變化的SEM引導的AFM形貌掃描方法，其特征在于：生成特征度量圖的算法是基于在SEM圖像中檢測快速變化的灰度像素。
4.根據權利要求3所述的掃描速度動態變化的SEM引導的AFM形貌掃描方法，其特征在于：所述算法為局部熵、局部標準差、局部灰度范圍、局部梯度中的任意一種。
5.根據權利要求1所述的掃描速度動態變化的SEM引導的AFM形貌掃描方法，其特征在于：所述特征度量圖定量描述了局部形貌特征的數量，并區分了SEM圖像中包含特征的區域和缺少特征的區域。
6.根據權利要求5所述的掃描速度動態變化的SEM引導的AFM形貌掃描方法，其特征在于：所述特征度量圖被歸一化后，與其他算法生成的特征度量圖進行直接比較。
7.根據權利要求6所述的掃描速度動態變化的SEM引導的AFM形貌掃描方法，其特征在于：所述特征度量圖用于識別給定樣本內的形貌特征，并轉換為AFM掃描速度圖。
8.根據權利要求1所述的掃描速度動態變化的SEM引導的AFM形貌掃描方法，其特征在于：所述掃描速度圖定義了AFM XY掃描儀在樣本上每個點的速度。
9.根據權利要求1所述的掃描速度動態變化的SEM引導的AFM形貌掃描方法，其特征在于：所述特征度量圖通過數學變換轉化為AFM掃描速度圖。
10.根據權利要求9所述的掃描速度動態變化的SEM引導的AFM形貌掃描方法，其特征在于：所述數學變換是所述掃描速度圖與特征度量圖成正比的伽瑪值的冪，其中伽瑪值為大于零的數。
11.根據權利要求9所述的掃描速度動態變化的SEM引導的AFM形貌掃描方法，其特征在于：所述AFM掃描速度圖被濾波用以提供平穩的速度轉換。
12.根據權利要求11所述的掃描速度動態變化的SEM引導的AFM形貌掃描方法，其特征在于：所述濾波是低通濾波或高斯濾波。
13.一種掃描速度動態變化的SEM引導的AFM系統，其特征在于，包括：
(a)可安裝集成在SEM內的AFM；
(b)上位機，從SEM圖像中提取形貌特征，用于生成AFM掃描過程的速度圖；
(c)AFM控制器，使用來自速度圖的信息來控制AFM的掃描速度，所述AFM控制器通過電線連接到所述上位機；
(d)AFM載體，根據所述AFM控制器發出的控制信號，以動態變化的速度掃描樣品，AFM載體通過電線連接到所述AFM控制器。
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