[發(fā)明專利]缺陷檢測(cè)方法以及裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880093664.3
• 申請(qǐng)日: 2018-12-13
• 公開（公告）號(hào): CN112154320B
• 公開（公告）日: 2023-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 畠堀貴秀;田窪健二
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社島津制作所
• 主分類號(hào): G01N21/47
• 分類號(hào): G01N21/47;G01B11/30;G01N21/88;G01N29/24
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，

在被檢查物體上產(chǎn)生了振動(dòng)的狀態(tài)下，以比該被檢查物體上產(chǎn)生的振動(dòng)的周期長(zhǎng)的時(shí)間從激光光源向該被檢查物體的表面的測(cè)定區(qū)域連續(xù)地或準(zhǔn)連續(xù)地照射激光，

使任一個(gè)激光的相位偏移來三次以上地生成測(cè)定區(qū)域的各點(diǎn)的累計(jì)強(qiáng)度，所述測(cè)定區(qū)域的各點(diǎn)的累計(jì)強(qiáng)度是在比所述振動(dòng)的周期長(zhǎng)的累計(jì)時(shí)間內(nèi)對(duì)所述激光在所述測(cè)定區(qū)域反射出的反射激光與從所述激光光源射出的參照激光發(fā)生干涉所得到的干涉光的強(qiáng)度進(jìn)行累計(jì)而得到的，

根據(jù)針對(duì)所述各點(diǎn)在三個(gè)以上的所述相位下分別求出的所述累計(jì)強(qiáng)度來求出干涉度的分布，基于該干涉度的分布來檢測(cè)該測(cè)定區(qū)域中的缺陷。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，

所述參照激光是使從所述激光光源射出的激光的一部分在所述測(cè)定區(qū)域的近前分支而得到的。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，

與在所述測(cè)定區(qū)域內(nèi)的各位置處分別反射的所述反射激光對(duì)應(yīng)的所述參照激光是在該位置的附近反射了從所述激光光源射出的激光而得到的。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，

所述振動(dòng)是在使用了所述被檢查物體的環(huán)境下在該被檢查物體上產(chǎn)生的環(huán)境振動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，

由于對(duì)所述被檢查物體附加的交通載荷而產(chǎn)生所述環(huán)境振動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，

通過激振單元對(duì)所述被檢查物體施加所述振動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，

所述激振單元是起振車、超聲波振子、電動(dòng)工具以及非電動(dòng)的工具中的任一者。

8.一種缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于，具備：

激光光源，其向被檢查物體的表面的測(cè)定區(qū)域照射激光；

激光光源控制部，其控制所述激光光源，使得以比所述被檢查物體上產(chǎn)生的振動(dòng)的周期長(zhǎng)的時(shí)間連續(xù)地或準(zhǔn)連續(xù)地輸出激光；

干涉儀，其生成所述激光在測(cè)定區(qū)域反射出的反射激光與從所述激光光源射出的參照激光發(fā)生干涉所得到的干涉光；

檢測(cè)器，其檢測(cè)所述干涉光的在所述測(cè)定區(qū)域的各點(diǎn)的強(qiáng)度；

移相器，其使所述反射激光和所述參照激光中的任意激光的相位偏移；

累計(jì)強(qiáng)度決定部，其通過所述移相器使所述相位偏移為不同的三個(gè)以上的相位，在所述三個(gè)以上的相位下分別求出在比所述振動(dòng)的周期長(zhǎng)的累計(jì)時(shí)間內(nèi)對(duì)所述各點(diǎn)的強(qiáng)度進(jìn)行累計(jì)所得到的累計(jì)強(qiáng)度；

干涉度分布生成部，其基于針對(duì)所述各點(diǎn)在所述三個(gè)以上的相位下分別求出的所述累計(jì)強(qiáng)度來求出干涉度的分布；以及

缺陷檢測(cè)部，其基于所述測(cè)定區(qū)域內(nèi)的所述干涉度的分布，來檢測(cè)該測(cè)定區(qū)域中的缺陷。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于，

所述參照激光是使從所述激光光源射出的激光的一部分在所述測(cè)定區(qū)域的近前分支而得到的。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于，

與在所述測(cè)定區(qū)域內(nèi)的各位置處分別反射的所述反射激光對(duì)應(yīng)的所述參照激光是在該位置的附近反射了從所述激光光源射出的激光而得到的。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于，

代替所述缺陷檢測(cè)部而具備顯示部，或者在具備所述缺陷檢測(cè)部的同時(shí)具備顯示部，其中，所述顯示部顯示基于所述測(cè)定區(qū)域內(nèi)的所述干涉度的分布的信息。