[發(fā)明專利]光脈沖展寬器、激光裝置及電子器件的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880092212.3
• 申請(qǐng)日: 2018-05-28
• 公開（公告）號(hào): CN112005454B
• 公開（公告）日: 2023-06-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘆川耕志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 極光先進(jìn)雷射株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01S3/10
• 分類號(hào): H01S3/10
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 于英慧;崔成哲

1.一種光脈沖展寬器，其具備：

分離光學(xué)元件，其將入射到第一面的紫外線區(qū)域的脈沖激光分離為第一透射光和第一反射光；

反射光學(xué)系統(tǒng)，其引導(dǎo)所述第一反射光，使所述第一反射光入射到所述分離光學(xué)元件的與所述第一面相反側(cè)的第二面；以及

保持部件，其具有開口面積比包含在所述反射光學(xué)系統(tǒng)中的反射光學(xué)元件的反射面的面積小的貫通孔，配置在所述反射光學(xué)元件的背面?zhèn)龋３炙龇瓷涔鈱W(xué)元件；

殼體，其收容所述反射光學(xué)系統(tǒng)和所述保持部件，并具有開口；

冷卻板，其配置在入射到所述反射光學(xué)元件的脈沖激光的光路軸的延長(zhǎng)線上的、所述開口的位置；以及

冷卻機(jī)構(gòu)，其冷卻所述冷卻板，

所述冷卻板由銅系合金構(gòu)成，該銅系合金是對(duì)紫外線的吸收率比作為所述殼體的材料的鋁高的材料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光脈沖展寬器，其中，

所述貫通孔的開口部的第一方向的開口寬度比與所述第一方向垂直的第二方向的開口寬度長(zhǎng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光脈沖展寬器，其中，

所述開口部是大致長(zhǎng)方形。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光脈沖展寬器，其中，

所述開口部是角部具有圓角的大致長(zhǎng)方形。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光脈沖展寬器，其中，

所述開口部為大致橢圓形。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光脈沖展寬器，其中，

所述貫通孔是長(zhǎng)孔。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光脈沖展寬器，其中，

所述反射光學(xué)系統(tǒng)包括多個(gè)反射光學(xué)元件，

在所述多個(gè)反射光學(xué)元件各自的背面?zhèn)扰渲糜兴霰３植考?/p>

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光脈沖展寬器，其中，

保持所述多個(gè)反射光學(xué)元件所包含的第一反射光學(xué)元件的所述保持部件具有第一開口部，該第一開口部的第一方向的開口寬度比與所述第一方向垂直的第二方向的開口寬度長(zhǎng)，

保持所述多個(gè)反射光學(xué)元件所包含的第二反射光學(xué)元件的所述保持部件具有第二開口部，該第二開口部的第三方向的開口寬度比與所述第三方向垂直的第四方向的開口寬度長(zhǎng)，

所述第一方向和所述第三方向是大致相同的方向。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光脈沖展寬器，其中，

所述冷卻機(jī)構(gòu)包含形成于所述冷卻板的冷卻介質(zhì)流路。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光脈沖展寬器，其中，

所述冷卻機(jī)構(gòu)包含形成于所述冷卻板的散熱片。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光脈沖展寬器，其中，

所述冷卻板包含光衰減器，該光衰減器具有第1槽和第2槽，

所述第1槽和第2槽各自的寬度越往里側(cè)越窄，所述第1槽和第2槽彼此的間隔越往里側(cè)越窄。