[發明專利]紅外線固體攝像裝置

有效

• 申請號: 201880091601.4
• 申請日: 2018-09-26
• 公開（公告）號: CN111902705B
• 公開（公告）日: 2022-10-04
• 發明（設計）人: 油谷明榮
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G01J1/02
• 分類號: G01J1/02;H01L27/144;H01L27/146;H01L31/10
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 金光華

1.一種紅外線固體攝像裝置，具備從基板熱分離地設置且串聯連接的第1 PN結二極管和第2 PN結二極管，將由于從所照射的紅外線變換得到的熱而產生的溫度變化通過所述第1 PN結二極管和所述第2 PN結二極管變換為電信號，所述紅外線固體攝像裝置的特征在于，具備：

第1導電類型的第1區域；

第2導電類型的第2區域，與所述第1區域一起構成所述第1 PN結二極管，在第1接合面處與所述第1區域相接，將從所述第1接合面至第2接合面為止的最短的長度作為第1最短長度；

第1導電類型的第3區域，在所述第2接合面處與所述第2區域相接，將與所述第1最短長度不同的從所述第2接合面至第3接合面為止的最短的長度作為第2最短長度；

第2導電類型的第4區域，與所述第3區域一起構成所述第2 PN結二極管，在所述第3接合面處與所述第3區域相接；

元件分離區域，使所述第1區域與所述第4區域之間、所述第1區域與所述第3區域之間以及所述第2區域與所述第4區域之間電分離；以及

金屬布線，設置于所述第2區域和所述第3區域上，將所述第1 PN結二極管與所述第2PN結二極管串聯地電連接，

所述第2區域以及所述第3區域中的至少一個區域在俯視時具有彎曲的形狀。

2.根據權利要求1所述的紅外線固體攝像裝置，其特征在于，

所述第1導電類型為P型，所述第2導電類型為N型，

在將所述第1最短長度設為L_n、將所述第2最短長度設為L_p、將所述第1導電類型的第3區域中的電子的遷移率設為μ_e、將電子的重新結合的時間常數設為τ_e、將所述第2導電類型的第2區域中的空穴的遷移率設為μ_h、并將空穴的重新結合的時間常數設為τ_h的情況下，

所述第1最短長度和所述第2最短長度滿足以下的關系：

3.根據權利要求1或者2所述的紅外線固體攝像裝置，其特征在于，

以使所述第1 PN結二極管以及所述第2 PN結二極管整體在俯視時具有U字形狀的方式，配置所述第1區域、所述第2區域、所述第3區域以及所述第4區域。

4.根據權利要求1或者2所述的紅外線固體攝像裝置，其特征在于，

以使所述第1 PN結二極管以及所述第2 PN結二極管整體在俯視時具有L字形狀的方式，配置所述第1區域、所述第2區域、所述第3區域以及所述第4區域。

5.根據權利要求1至4中的任意一項所述的紅外線固體攝像裝置，其特征在于，

以使將所述第1接合面上的任意的點與所述第3接合面上的任意的點進行連結的線段中的至少一部分處于所述元件分離區域內的方式，設置所述第2區域以及所述第3區域。

6.根據權利要求1至5中的任意一項所述的紅外線固體攝像裝置，其特征在于，

在所述第2區域與所述第3區域之間，具有雜質濃度比所述第2區域高的所述第2導電類型的第5區域。

7.根據權利要求1至6中的任意一項所述的紅外線固體攝像裝置，其特征在于，

在所述第2區域與所述第3區域之間，具有雜質濃度比所述第3區域高的第1導電類型的第6區域。

8.根據權利要求1至7中的任意一項所述的紅外線固體攝像裝置，其特征在于，

所述第1區域的雜質濃度比所述第2區域高，所述第1區域被部分地設置于所述第2區域內。

9.根據權利要求1至8中的任意一項所述的紅外線固體攝像裝置，其特征在于，

所述第4區域的雜質濃度比所述第3區域高，所述第4區域被部分地設置于所述第3區域內。

10.根據權利要求1至9中的任意一項所述的紅外線固體攝像裝置，其特征在于，

在所述第2區域與所述第3區域之間，具有過渡金屬的濃度比所述第2區域或者所述第3區域高的區域。