[發明專利]光掃描裝置及其控制方法

在審

• 申請號: 201880090386.6
• 申請日: 2018-12-17
• 公開（公告）號: CN111819486A
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發明（設計）人: 伊藤恭彥;紺野伸顯;平田善明
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10;B81B3/00;B81B7/04;G01S7/481;G01S17/931;G02B26/08
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 肖靖

1.一種光掃描裝置，具備：

光源，發出光；

掃描鏡，為利用反射面反射從所述光源入射的光的掃描鏡，能夠繞通過所述反射面內的第1軸以及與所述第1軸正交且通過所述反射面內的第2軸分別獨立地振動；以及

控制部，控制所述掃描鏡的繞所述第1軸振動的第1頻率以及第1振幅、和繞所述第2軸振動的第2頻率以及第2振幅而掃描被所述掃描鏡的反射面反射的光，

所述光掃描裝置利用從所述光源發出的光對由主掃描方向的最大掃描角和副掃描方向的最大掃描角規定的掃描范圍內進行掃描，所述主掃描方向的最大掃描角與所述第1振幅相應地變化，所述副掃描方向與所述主掃描方向正交且所述副掃描方向的最大掃描角與所述第2振幅相應地變化，其中，

所述控制部根據所述副掃描方向的最大掃描角，控制所述第2頻率。

2.根據權利要求1所述的光掃描裝置，其特征在于，

所述控制部控制所述第2頻率，并且根據所述第2頻率來控制所述第2振幅，從而控制所述副掃描方向的最大掃描角。

3.根據權利要求1或者2所述的光掃描裝置，其特征在于，

所述控制部以使所述第2頻率與所述副掃描方向的最大掃描角之積成為恒定的方式，控制所述第2頻率或者所述副掃描方向的最大掃描角。

4.根據權利要求3所述的光掃描裝置，其特征在于，

所述第2頻率與所述副掃描方向的最大掃描角的所述積等于所述第1頻率與鄰接的主掃描線間的角度間隔即空間分辨率之積。

5.根據權利要求1～4中的任意一項所述的光掃描裝置，其特征在于，

以使通過所述第1軸與所述第2軸的交點的所述掃描鏡的所述反射面的法線進行以所述交點為中心的歲差運動的方式，調整所述掃描鏡的繞所述第1軸振動的相位和繞所述第2軸振動的相位。

6.根據權利要求1～5中的任意一項所述的光掃描裝置，其特征在于，

所述副掃描方向的最大掃描角為360^°。

7.根據權利要求1～6中的任意一項所述的光掃描裝置，其特征在于，

所述光掃描裝置還具備掃描角變換單元，該掃描角變換單元進一步反射由所述掃描鏡反射的光。

8.根據權利要求1～7中的任意一項所述的光掃描裝置，其特征在于，

所述控制部將所述第1頻率的值設定為與所述掃描鏡的繞所述第1軸的共振頻率相等的值。

9.根據權利要求1～8中的任意一項所述的光掃描裝置，其特征在于，

所述掃描鏡為MEMS掃描鏡。

10.根據權利要求1～9中的任意一項所述的光掃描裝置，其特征在于，

所述掃描鏡為壓電驅動式的掃描鏡。

11.根據權利要求1～10中的任意一項所述的光掃描裝置，其特征在于，

所述光掃描裝置還具備慣性力傳感器，該慣性力傳感器檢測被施加到所述光掃描裝置內的慣性力，

所述控制部根據由所述慣性力傳感器檢測到的所述慣性力，控制所述第2頻率或者所述副掃描方向的最大掃描角。

12.根據權利要求11所述的光掃描裝置，其特征在于，

所述慣性力傳感器為檢測所述光掃描裝置的加速度的加速度傳感器。

13.根據權利要求12所述的光掃描裝置，其特征在于，

所述控制部以由所述加速度傳感器檢測到的加速度越大使所述第2頻率或者所述副掃描方向的最大掃描角越小的方式進行控制。

14.根據權利要求11所述的光掃描裝置，其特征在于，

所述慣性力傳感器為檢測所述光掃描裝置的角速度的角速度傳感器。