[發(fā)明專利]光片顯微鏡以及試樣觀察方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201880090339.1 | 申請日: | 2018-12-26 |
| 公開(公告)號: | CN111771150B | 公開(公告)日: | 2022-12-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 瀧口優(yōu);田中瑠美花;高本尚宜 | 申請(專利權(quán))人: | 浜松光子學(xué)株式會社 |
| 主分類號: | G02B21/06 | 分類號: | G02B21/06;G01N21/64 |
| 代理公司: | 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322 | 代理人: | 楊琦;徐飛躍 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 顯微鏡 以及 試樣 觀察 方法 | ||
1.一種光片顯微鏡,其特征在于,包括:
將包含可激發(fā)試樣的波長的激發(fā)光照射于所述試樣的照射光學(xué)系統(tǒng);
對伴隨所述激發(fā)光的照射而從所述試樣發(fā)出的檢測光進(jìn)行引導(dǎo)的檢測光學(xué)系統(tǒng);和
檢測由所述檢測光學(xué)系統(tǒng)引導(dǎo)來的所述檢測光的光檢測器,
所述照射光學(xué)系統(tǒng)具有:
作為所述激發(fā)光輸出波長隨時間變化的光的波長掃描光源;
分光元件,其入射從所述波長掃描光源輸出的所述激發(fā)光,并且以與所述激發(fā)光的波長對應(yīng)的出射角出射所述激發(fā)光;
包含柱面透鏡及透鏡的中繼光學(xué)系統(tǒng),其中,從所述分光元件出射的所述激發(fā)光以與所述出射角對應(yīng)的入射角入射于所述柱面透鏡;和
第一物鏡,其使由所述中繼光學(xué)系統(tǒng)引導(dǎo)來的所述激發(fā)光會聚,并使片狀的所述激發(fā)光照射于所述試樣,
所述柱面透鏡和所述透鏡構(gòu)成光瞳傳遞光學(xué)系統(tǒng),入射于所述柱面透鏡的激發(fā)光經(jīng)由所述透鏡而傳遞于所述第一物鏡的光瞳,
所述分光元件具有所述激發(fā)光出射的出射面,
通過所述中繼光學(xué)系統(tǒng),所述第一物鏡的光瞳與所述分光元件的所述出射面成為共軛關(guān)系。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光片顯微鏡,其特征在于:
所述分光元件是衍射光柵。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光片顯微鏡,其特征在于:
所述分光元件是棱鏡。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光片顯微鏡,其特征在于:
所述檢測光學(xué)系統(tǒng)具有:入射所述檢測光的第二物鏡;以及使所述第二物鏡的焦點位置與從所述波長掃描光源輸出的所述激發(fā)光的波長的變化同步地變化的焦點位置調(diào)節(jié)器。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光片顯微鏡,其特征在于:
所述檢測光學(xué)系統(tǒng)具有:入射所述檢測光的第二物鏡;以及使所述第二物鏡的焦點位置與從所述波長掃描光源輸出的所述激發(fā)光的波長的變化同步地變化的焦點位置調(diào)節(jié)器。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光片顯微鏡,其特征在于:
所述檢測光學(xué)系統(tǒng)具有:入射所述檢測光的第二物鏡;以及使所述第二物鏡的焦點位置與從所述波長掃描光源輸出的所述激發(fā)光的波長的變化同步地變化的焦點位置調(diào)節(jié)器。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光片顯微鏡,其特征在于:
所述焦點位置調(diào)節(jié)器是液體透鏡。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光片顯微鏡,其特征在于:
所述焦點位置調(diào)節(jié)器是液體透鏡。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光片顯微鏡,其特征在于:
所述焦點位置調(diào)節(jié)器是液體透鏡。
10.根據(jù)權(quán)利要求1~9中任一項所述的光片顯微鏡,其特征在于:
所述波長掃描光源構(gòu)成為能夠在多個中心波長之間切換所述激發(fā)光的中心波長,
所述分光元件能夠根據(jù)從所述波長掃描光源輸出的所述激發(fā)光的中心波長來旋轉(zhuǎn)。
11.根據(jù)權(quán)利要求1~9中任一項所述的光片顯微鏡,其特征在于:
所述照射光學(xué)系統(tǒng)具有多個所述波長掃描光源,
所述多個波長掃描光源作為所述激發(fā)光輸出中心波長彼此不同的光,
從所述多個波長掃描光源輸出的所述激發(fā)光以與其中心波長對應(yīng)的入射角入射于所述分光元件。
12.根據(jù)權(quán)利要求1~9中任一項所述的光片顯微鏡,其特征在于:
還包括移動機構(gòu),其維持所述分光元件與所述柱面透鏡之間的位置關(guān)系,并且使所述波長掃描光源、所述分光元件和所述柱面透鏡沿著所述柱面透鏡的光軸移動。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光片顯微鏡,其特征在于:
還包括移動機構(gòu),其維持所述分光元件與所述柱面透鏡之間的位置關(guān)系,并且使所述波長掃描光源、所述分光元件和所述柱面透鏡沿著所述柱面透鏡的光軸移動。
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