[發明專利]多配置數字光刻系統在審
| 申請號： | 201880090226.1 | 申請日： | 2018-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN111771165A | 公開（公告）日： | 2020-10-13 |
| 發明（設計）人： | 賴建華;陳清昌;郭世豪;楊旭輝;王秀珍;劉易生;高家鴻 | 申請（專利權）人： | 應用材料公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金國;趙靜 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 配置 數字 光刻 系統 | ||
1.一種系統，所述系統包含：
第一圖像投影設備，其中所述第一圖像投影設備能夠將基板曝光至第一分辨率；
第二圖像投影設備，其中所述第二圖像投影設備能夠將所述基板曝光至與所述第一分辨率不同的第二分辨率；和
基板支撐件，所述基板支撐件是能夠移動的，以將所述基板定位在所述第一圖像投影設備和所述第二圖像投影設備下方。
2.如權利要求1所述的系統，其中所述第一分辨率是精細分辨率，并且所述第二分辨率是常規分辨率。
3.如權利要求1所述的系統，進一步包含設置在所述基板支撐件上的卡盤。
4.如權利要求3所述的系統，其中所述卡盤能夠支撐多個基板。
5.如權利要求1所述的系統，其中至少一個基板是平板基板，并且至少一個基板不是平板基板。
6.如權利要求1所述的系統，其中所述第一圖像投影設備包括DMD。
7.如權利要求1所述的系統，其中所述第一圖像投影設備包括微型LED。
8.一種系統，所述系統包含：
第一圖像投影設備，其中所述第一圖像投影設備能夠將基板曝光至第一分辨率；
第二圖像投影設備，其中所述第二圖像投影設備能夠將所述基板曝光至與所述第一分辨率不同的第二分辨率；
基板支撐件，所述基板支撐件是能夠移動的，以將所述基板定位在所述第一圖像投影設備和所述第二圖像投影設備下方，其中所述第一分辨率是精細分辨率，并且所述第二分辨率是常規分辨率；和
卡盤，所述卡盤設置在所述基板支撐件上。
9.如權利要求8所述的系統，其中所述卡盤能夠支撐多個基板。
10.如權利要求9所述的系統，其中至少一個基板是平板基板，并且至少一個基板不是平板基板。
11.如權利要求10所述的系統，其中所述第一圖像投影設備包括DMD。
12.如權利要求10所述的系統，其中所述第一圖像投影設備包括微型LED。
13.一種系統，所述系統包含：
第一圖像投影設備，其中所述第一圖像投影設備能夠將基板曝光至第一分辨率；
第二圖像投影設備，其中所述第二圖像投影設備能夠將所述基板曝光至與所述第一分辨率不同的第二分辨率；和
基板支撐件，所述基板支撐件是能夠移動的，以將所述基板定位在所述第一圖像投影設備和所述第二圖像投影設備下方，其中所述第一分辨率是精細分辨率，并且所述第二分辨率是常規分辨率，其中所述第一圖像投影設備包括DMD。
14.如權利要求13所述的系統，進一步包含設置在所述基板支撐件上的卡盤。
15.如權利要求14所述的系統，其中所述卡盤能夠支撐多個基板。
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