[發(fā)明專利]除去溶液中的金屬雜質(zhì)的金屬除去劑及金屬除去方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880090138.1
• 申請日: 2018-12-25
• 公開（公告）號: CN111801158A
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 谷口博昭;窪寺俊;孫軍
• 申請（專利權(quán)）人: 日產(chǎn)化學(xué)株式會社
• 主分類號: B01J20/22
• 分類號: B01J20/22;B01D15/00;B01J20/28;C02F1/28;C02F1/42;G03F7/26
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所 11247
• 代理人: 王磊;段承恩

本發(fā)明的課題是將多價金屬、多價金屬離子、其帶電性金屬氧化物膠體粒子不是通過1種螯合樹脂而是通過組合了特定螯合樹脂的金屬吸附劑從溶解或分散了待純化材料的組合物中除去，獲得被高純度化了的純化材料組合物。解決手段是一種金屬吸附劑，是用于除去包含螯合劑(A)和螯合劑(B)的溶液中的金屬雜質(zhì)的金屬吸附劑，螯合劑(A)為包含具有葡萄糖胺型官能團(tuán)的載體的金屬吸附劑，螯合劑(B)為包含具有巰基、硫脲基、氨基、衍生自三氮雜二環(huán)癸烯的基團(tuán)、硫脲基、咪唑基、磺酸基、羥基、氨基乙酸基、酰胺肟基、氨基磷酸基、或它們的組合的載體的金屬吸附劑。螯合劑(A)和螯合劑(B)的載體為二氧化硅、含有二氧化硅成分的物質(zhì)、聚苯乙烯或交聯(lián)化多孔質(zhì)聚苯乙烯，上述溶液為含有水或有機(jī)溶劑的溶液。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于除去溶劑中的金屬雜質(zhì)的金屬除去劑以及該金屬除去方法。

背景技術(shù)

在電子部件、半導(dǎo)體制造所使用的制品的制造中應(yīng)用包含許多化學(xué)物質(zhì)的組合物。例如對于半導(dǎo)體制造的光刻工序所使用的抗蝕劑膜形成用組合物、抗蝕劑下層膜形成用組合物，來源于微量殘存的金屬離子、金屬或金屬氧化物的帶電性膠體物質(zhì)有時在最終制品、其制造工序中的光刻工序、蝕刻工序中帶來意料之外的不良影響。

上述化學(xué)物質(zhì)有時為來源于原料的雜質(zhì)、或作為有機(jī)反應(yīng)的催化劑的金屬催化劑殘存。這些金屬成分如果為堿金屬、堿土金屬，則通過離子交換樹脂，多數(shù)能夠被除去。

然而，金屬成分為金屬離子、帶電性金屬氧化物膠體粒子。來源于重金屬的多價金屬離子有時這些金屬在有機(jī)溶劑中因為ppm水平的微量水分的影響而形成帶電性膠體粒子。

上述多價金屬離子、這些金屬的帶電性金屬氧化物膠體粒子在離子交換樹脂中難以容易地吸附除去。

在除去它們的目的下使用了螯合樹脂(參照專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2。)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：國際公開第2015/146307號

專利文獻(xiàn)2：日本特表2008-502470號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的課題

在除去金屬成分時一般使用離子交換樹脂，但在半導(dǎo)體制造工序所使用的涂布材料的組合物中包含離子性材料的情況下，使用了含有磺酰基的陽離子性離子交換樹脂的金屬除去方法由于吸附陽離子成分，收率顯著降低，因此對離子性材料的應(yīng)用是不優(yōu)選的。此外，從含有酸不穩(wěn)定(改性)基的材料除去金屬使用含有磺酰基的陽離子性離子交換樹脂也由于使材料改性，因此是不優(yōu)選的。另一方面，上述專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2所記載的方法中，金屬離子、帶電性金屬氧化物膠體粒子的離子強(qiáng)度、離子半徑、粒徑多種多樣，此外螯合樹脂也根據(jù)官能團(tuán)的種類而有時其大分子結(jié)構(gòu)不適合上述離子性金屬種的形態(tài)而不發(fā)揮充分的金屬吸附能力。

本申請發(fā)明想要不是通過1種螯合樹脂而是通過組合了特定螯合樹脂的金屬吸附劑，不吸附、改性半導(dǎo)體制造工序所使用的涂布用組合物中的(雜質(zhì)以外的)成分，將多價金屬、多價金屬離子、其帶電性金屬氧化物膠體粒子這樣的金屬雜質(zhì)從溶解了待純化材料的組合物中除去，從而獲得被高純度化了的純化材料組合物。

用于解決課題的方法

本申請發(fā)明中作為第1觀點(diǎn)，是一種金屬吸附劑，其是用于除去溶液中的金屬雜質(zhì)的金屬吸附劑，

該金屬吸附劑包含螯合劑(A)和螯合劑(B)，

上述螯合劑(A)為包含具有葡萄糖胺型官能團(tuán)的載體的金屬吸附劑，

上述螯合劑(B)為包含具有巰基、硫脲基、氨基、衍生自三氮雜二環(huán)癸烯的基團(tuán)、硫脲基、咪唑基、磺酸基、羥基、氨基乙酸基、酰胺肟基、氨基磷酸基、或它們的組合的載體的金屬吸附劑，