[發(fā)明專利]裝備清潔設(shè)備和方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880087669.5
• 申請日: 2018-11-07
• 公開（公告）號(hào): CN111656485B
• 公開（公告）日: 2023-09-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅曼·M·莫斯托沃伊;蘇克圖·阿倫·帕里克;托德·伊根
• 申請（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號(hào): H01L21/02
• 分類號(hào): H01L21/02;H01L21/67;H10K50/10;H10K71/00
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種用于清潔物體的方法，包括以下步驟：

沿著所述物體的表面移動(dòng)清潔頭；

將超臨界二氧化碳流體輸送到所述物體的所述表面；

從所述物體去除所述超臨界二氧化碳流體和污染物質(zhì)；

確定通過真空泵排出到檢測器的所述污染物質(zhì)的一個(gè)或多個(gè)測量結(jié)果；和

通過收集器收集所述污染物質(zhì)的樣本，其中所述收集器耦接到所述真空泵和所述檢測器；和

通過分析器確定所述物體的所述表面的污染程度，其中光學(xué)通道耦接到所述分析器和所述清潔頭。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述超臨界二氧化碳流體在大于500磅/平方英寸(psi)的壓力下輸送。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中：

輸送超臨界二氧化碳流體的步驟從所述物體的所述表面去除所述污染物質(zhì)，所述污染物質(zhì)包括多個(gè)顆粒；

通過所述真空泵去除所述超臨界二氧化碳流體和所述污染物質(zhì)；并且

確定所述污染物質(zhì)的所述一個(gè)或多個(gè)測量結(jié)果的步驟包括確定所述污染物質(zhì)的每個(gè)顆粒的密度。

4.一種用于清潔物體的方法，包括以下步驟：

沿第一物體的表面移動(dòng)清潔頭；

將超臨界二氧化碳流體輸送到所述第一物體的所述表面；

從所述第一物體去除所述超臨界二氧化碳流體和污染物質(zhì)；

確定通過真空泵排出到檢測器的來自所述第一物體的所述污染物質(zhì)的一個(gè)或多個(gè)測量結(jié)果；

通過收集器收集來自所述第一物體的所述污染物質(zhì)的樣本，其中所述收集器耦接到所述真空泵和所述檢測器；和

通過分析器確定所述第一物體的所述表面的污染程度，其中光學(xué)通道耦接到所述分析器和所述清潔頭；

沿第二物體的表面移動(dòng)所述清潔頭；

將所述超臨界二氧化碳流體輸送到所述第二物體的所述表面；

從所述第二物體去除所述超臨界二氧化碳流體和污染物質(zhì)；

確定通過所述真空泵排出到所述檢測器的來自所述第二物體的所述污染物質(zhì)的一個(gè)或多個(gè)測量結(jié)果；和

通過所述收集器收集來自所述第二物體的所述污染物質(zhì)的樣本；和

通過所述分析器確定所述第二物體的所述表面的污染程度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中將所述超臨界二氧化碳流體輸送到所述第一物體的所述表面的步驟從所述第一物體的所述表面去除所述污染物質(zhì)，其中將所述超臨界二氧化碳流體輸送到所述第二物體的所述表面的步驟從所述第二物體的所述表面去除所述污染物質(zhì)，并且其中所述污染物質(zhì)包括多個(gè)顆粒。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中通過所述真空泵從所述第一物體去除所述超臨界二氧化碳流體和所述污染物質(zhì)，并且其中通過所述真空泵從所述第二物體去除所述超臨界二氧化碳流體和所述污染物質(zhì)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中確定來自所述第一物體的所述污染物質(zhì)的一個(gè)或多個(gè)測量結(jié)果的步驟包括確定來自所述第一物體的所述污染物質(zhì)的每個(gè)顆粒的密度，并且其中確定來自所述第二物體的所述污染物質(zhì)的一個(gè)或多個(gè)測量結(jié)果的步驟包括確定來自所述第二物體的所述污染物質(zhì)的每個(gè)顆粒的密度。

8.一種清潔裝置，包括：

清潔頭；

光學(xué)通道，所述光學(xué)通道耦接到分析器，所述光學(xué)通道耦接到所述清潔頭；

檢測器，所述檢測器耦接到所述清潔頭，所述檢測器可操作以確定污染物質(zhì)的顆粒的密度；

收集器，所述收集器耦接到所述檢測器；和

真空泵，所述真空泵耦接到所述收集器，所述真空泵可操作以將包括所述污染物質(zhì)的這些顆粒的所述污染物質(zhì)排出到所述檢測器。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中所述檢測器經(jīng)配置以確定所述污染物質(zhì)的每個(gè)顆粒的密度。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其中所述收集器經(jīng)配置以收集所述污染物質(zhì)的樣本。