[發明專利]光轉向鏡組件

有效

• 申請號: 201880087625.2
• 申請日: 2018-12-11
• 公開（公告）號: CN111788514B
• 公開（公告）日: 2022-11-29
• 發明（設計）人: 王佑民;周勤
• 申請（專利權）人: 北京航跡科技有限公司
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10;G01S17/931;G01S7/481
• 代理公司: 成都七星天知識產權代理有限公司 51253
• 代理人: 袁春曉

1.一種包括光檢測和測距模塊的裝置，所述光檢測和測距模塊包括：

光源；

接收器；以及

半導體集成電路，包括微機電系統和控制器，

其中所述微機電系統包括：

第一旋轉鏡陣列，用于接收和反射來自所述光源的光束；

第二旋轉鏡，用于接收由所述第一旋轉鏡陣列反射的所述光束；

第一驅動器陣列，被配置為使所述第一旋轉鏡陣列的每個旋轉鏡旋轉相同的旋轉角度；以及

第二驅動器，被配置為使所述第二旋轉鏡旋轉；

面向所述第一旋轉鏡陣列和所述第二旋轉鏡的第三鏡，所述第三鏡被配置為將所述第一旋轉鏡陣列反射的所述光束反射到所述第二旋轉鏡；

以及

其中所述控制器被配置為控制所述第一驅動器陣列旋轉所述第一旋轉鏡陣列設置光路與第一方向之間的第一角度，以及控制所述第二驅動器旋轉所述第二旋轉鏡設置所述光路與和所述第一方向正交的第二方向之間的第二角度，以執行以下至少一項：沿著所述光路反射來自所述光源的光，或將沿所述光路傳播的輸入光反射到所述接收器。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述光源是激光二極管。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，光包括第一光信號；以及

其中所述控制器被配置為：

控制所述光源在第一時間發射包括所述第一光信號的所述光；

控制所述第一驅動器陣列和所述第二驅動器朝著物體輸出包括沿著所述光路的所述第一光信號的所述光；

控制所述第一驅動器陣列和所述第二驅動器選擇所述輸入光，

所述輸入光包括從所述物體傳播的沿所述光路的第二光信號；

所述接收器在第二時間接收所述第二光信號；以及

基于所述第一時間和所述第二時間、所述第一角度和所述第二角度之間的差值，確定所述物體相對于所述裝置的位置。

4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一旋轉鏡陣列和所述第二旋轉鏡形成于所述半導體集成電路的半導體基板的表面上。

5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述第三鏡與所述半導體基板的所述表面由第一距離分隔；

其中所述第一旋轉鏡陣列和所述第二旋轉鏡由第二距離分隔；以及

其中所述第一距離和所述第二距離是基于來自所述光源的所述光相對于所述第一旋轉鏡的入射角來設定的。

6.根據權利要求1所述的裝置，還包括位于所述光源和所述第一旋轉鏡之間的準直器透鏡，

其中所述準直器透鏡具有預定的孔徑。

7.根據權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述第一旋轉鏡陣列中的每個旋轉鏡和所述第二旋轉鏡的尺寸等于所述孔徑。

8.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一旋轉鏡陣列形成于所述半導體集成電路的第一半導體基板的第一表面上；

其中所述第二旋轉鏡形成于所述半導體集成電路的第二半導體基板的第二表面上；以及

其中所述第一表面與所述第二表面朝向相對。

9.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一旋轉鏡陣列的每個旋轉鏡的質量小于所述第二旋轉鏡的質量；

其中所述控制器被配置為以第一頻率調整所述第一旋轉鏡陣列的每個旋轉鏡的第一旋轉角度；以及

其中所述控制器被配置為以高于所述第一頻率的第二頻率調整所述第二旋轉鏡的第二旋轉角度，所述第二頻率等于所述第二旋轉鏡的固有頻率。

10.根據權利要求9所述的裝置，其特征在于，所述第一驅動器陣列的每個驅動器和所述第二驅動器包括旋轉驅動器；以及

其中所述控制器被配置為基于分別調整所述第一驅動器陣列的每個驅動器所提供的第一轉矩和由所述第二驅動器提供的第二轉矩調整所述第一旋轉角度和所述第二旋轉角度。