[發明專利]控制用于AR波導組合器的光柵外耦合強度

在審

• 申請號: 201880087455.8
• 申請日: 2018-10-23
• 公開（公告）號: CN111630420A
• 公開（公告）日: 2020-09-04
• 發明（設計）人: 羅格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森;韋恩·麥克米蘭
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: G02B6/02
• 分類號: G02B6/02
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種裝置，包含：

至少一個第一光柵，形成在基板上，具有第一工作周期；

至少一個第二光柵，形成在所述基板上，與所述至少一個第一光柵相鄰，具有不同于所述第一工作周期的第二工作周期；及

至少一個第三光柵，形成在所述基板上，與所述至少一個第二光柵相鄰，具有不同于所述第一工作周期和所述第二工作周期的第三工作周期。

2.如權利要求1所述的裝置，其中所述第一、第二和第三工作周期在約0.1和約0.5之間。

3.如權利要求1所述的裝置，其中所述至少一個第一、第二和第三光柵的每個光柵具有相同高度。

4.如權利要求1所述的裝置，其中所述至少一個第一、第二和第三光柵的每個光柵包含相對于所述基板傾斜一定量的多個側壁表面。

5.如權利要求2所述的裝置，其中，

所述第二工作周期大于所述第一工作周期；及

所述第三工作周期大于所述第二工作周期。

6.一種裝置，包含：

至少一個第一光柵，形成在基板上，具有第一折射率；

至少一個第二光柵，形成在所述基板上，與所述至少一個第一光柵相鄰，具有大于所述第一折射率的第二折射率；及

至少一個光柵的三分之一，形成在所述基板上，與所述至少一個第二光柵相鄰，具有大于所述第二折射率的第三折射率。

7.如權利要求6所述的裝置，其中所述第一折射率和所述第二折射率在約1.2與約1.7之間。

8.如權利要求6所述的裝置，其中所述第三折射率在約1.5與約2.5之間。

9.如權利要求6所述的裝置，其中，

所述至少一個第一光柵包含第一材料與第二材料的第一比例；

所述至少一個第二光柵包含不同于所述第一比例的所述第一材料與所述第二材料的第二比例；及

所述至少一個第三光柵包含不同于所述第一比例和所述第二比例的所述第一材料與所述第二材料的第三比例。

10.如權利要求9所述的裝置，其中所述第一材料包含二氧化鈦(TiO₂)。

11.如權利要求9所述的裝置，其中所述第二材料包含二氧化硅(SiO₂)、碳氧化硅(SiOC)及/或二氧化鋯(ZrO₂)。

12.一種方法，包含以下步驟：

將一個或多個第一材料沉積到基板上；

將一個或多個第二材料沉積到所述基板上；

將印模壓印到所述一個或多個第一材料和所述一個或多個第二材料中；

固化所述一個或多個第一材料和所述一個或多個第二材料；及

釋放所述印模以形成所述一個或多個第一材料的第一光柵和所述一個或多個第二材料的第二光柵，所述第一光柵具有第一折射率和第一工作周期，所述第二光柵具有第二折射率和第二工作周期；及以下任一者：

所述第一工作周期與所述第二工作周期不同；或

所述第一折射率與所述第二折射率不同；或

所述第一折射率和所述第一工作周期都不同于所述第二折射率和所述第二工作周期。

13.如權利要求12所述的方法，其中所述第一光柵和第二光柵具有基本相等的高度。

14.如權利要求12所述的方法，其中所述第二工作周期大于所述第一工作周期。

15.如權利要求12所述的方法，其中所述第二折射率大于所述第一折射率。