[發(fā)明專(zhuān)利]粘接劑組合物、膜狀粘接劑、粘接片材及半導(dǎo)體裝置的制造方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201880087334.3 | 申請(qǐng)日: | 2018-01-30 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN111630126B | 公開(kāi)(公告)日: | 2023-07-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 橋本慎太郎;中村祐樹(shù);山崎智陽(yáng);菊地健太;舛野大輔 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 株式會(huì)社力森諾科 |
| 主分類(lèi)號(hào): | C09J7/30 | 分類(lèi)號(hào): | C09J7/30;C09J7/10;C09J7/20;C09J11/04;C09J133/00;C09J163/00;H01L21/52;H01L21/50;H01L21/56;H01L23/29;H01L23/31;H01L25/065;H01L25/07;H01L25/1 |
| 代理公司: | 永新專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 72002 | 代理人: | 白麗 |
| 地址: | 日本*** | 國(guó)省代碼: | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 粘接劑 組合 膜狀粘接劑 粘接片材 半導(dǎo)體 裝置 制造 方法 | ||
1.一種粘接劑組合物,其含有熱固化性樹(shù)脂、固化劑和彈性體,所述熱固化性樹(shù)脂包含具有脂環(huán)式環(huán)的環(huán)氧樹(shù)脂,
所述具有脂環(huán)式環(huán)的環(huán)氧樹(shù)脂的含量以所述熱固化性樹(shù)脂的總量為基準(zhǔn)計(jì)為40~100質(zhì)量%,
所述具有脂環(huán)式環(huán)的環(huán)氧樹(shù)脂的含量以粘接劑組合物總量為基準(zhǔn)計(jì)為20質(zhì)量%以上,
所述具有脂環(huán)式環(huán)的環(huán)氧樹(shù)脂包含下述通式(1a)所示的環(huán)氧樹(shù)脂及通式(2)所示的環(huán)氧樹(shù)脂,
所述固化劑包含苯基芳烷基型酚醛樹(shù)脂,
式(1a)中,n1表示1~10的整數(shù);
式(2)中,R2表示二價(jià)烴基。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粘接劑組合物,其中,所述彈性體包含丙烯酸樹(shù)脂。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的粘接劑組合物,其中,所述熱固化性樹(shù)脂進(jìn)一步包含不具有脂環(huán)式環(huán)的芳香族環(huán)氧樹(shù)脂。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的粘接劑組合物,其中,所述不具有脂環(huán)式環(huán)的芳香族環(huán)氧樹(shù)脂在25℃下為液體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的粘接劑組合物,其進(jìn)一步含有無(wú)機(jī)填充物。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的粘接劑組合物,其進(jìn)一步含有固化促進(jìn)劑。
7.一種膜狀粘接劑,其為將權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的粘接劑組合物形成為膜狀而成的。
8.一種粘接片材,其具備基材和設(shè)置在所述基材上的權(quán)利要求7所述的膜狀粘接劑。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的粘接片材,其中,所述基材為切割帶。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的粘接片材,其進(jìn)一步具備層疊在所述膜狀粘接劑的與所述基材為相反側(cè)的面上的保護(hù)膜。
11.一種半導(dǎo)體裝置的制造方法,其具備以下工序:
介由第一導(dǎo)線將第一半導(dǎo)體元件電連接于基板上的引線接合工序;
在第二半導(dǎo)體元件的單面上粘貼權(quán)利要求7所述的膜狀粘接劑的層壓工序;以及
介由所述膜狀粘接劑將粘貼有所述膜狀粘接劑的第二半導(dǎo)體元件進(jìn)行壓接,從而將所述第一導(dǎo)線的至少一部分埋入到所述膜狀粘接劑中的芯片接合工序。
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