[發(fā)明專利]處理模塊子系統(tǒng)的主動(dòng)反饋控制

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880087152.6
• 申請日: 2018-11-07
• 公開（公告）號(hào): CN111630469A
• 公開（公告）日: 2020-09-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 斯科特·里格斯;賴安·拜斯;約翰·瓦爾考;埃里克·赫德森;拉納迪普·博米克
• 申請（專利權(quán)）人: 朗姆研究公司
• 主分類號(hào): G06F1/12
• 分類號(hào): G06F1/12;G06F1/08;H01J37/32
• 代理公司: 上海勝康律師事務(wù)所 31263
• 代理人: 樊英如;張靜

1.一種用于使在耦合到用于處理襯底的處理模塊的多個(gè)子系統(tǒng)之間的控制信號(hào)同步的通信系統(tǒng)，其包括：

分布式控制器，其耦合到所述多個(gè)子系統(tǒng)中的每個(gè)子系統(tǒng)，并且被配置為啟動(dòng)多個(gè)處理步驟，所述處理步驟中的每一個(gè)具有步驟時(shí)段，每個(gè)步驟時(shí)段具有多個(gè)片段；和

分布式時(shí)鐘模塊，其包括主時(shí)鐘，該主時(shí)鐘具有包括多個(gè)時(shí)鐘周期的時(shí)鐘速度，每個(gè)時(shí)鐘周期具有與反饋循環(huán)預(yù)相關(guān)的持續(xù)時(shí)間，在該反饋循環(huán)中，通過所述分布式時(shí)鐘模塊將同步的控制信號(hào)傳送到所述多個(gè)子系統(tǒng)以及從所述多個(gè)子系統(tǒng)接收所述同步的控制信號(hào)，其中，所述分布式時(shí)鐘模塊被配置為分配預(yù)定數(shù)量的時(shí)鐘周期，以執(zhí)行相應(yīng)數(shù)量的反饋循環(huán)，從而在處理步驟之間過渡，

其中，所述預(yù)定數(shù)量的時(shí)鐘周期被限制為所述步驟時(shí)段的片段。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的通信系統(tǒng)，其中，要在兩個(gè)處理步驟之間的過渡期間的所述預(yù)定數(shù)量的時(shí)鐘周期內(nèi)執(zhí)行的相應(yīng)數(shù)量的反饋循環(huán)包括：

設(shè)置反饋循環(huán)，所述設(shè)置反饋循環(huán)在所述主時(shí)鐘的第一時(shí)鐘周期內(nèi)執(zhí)行，所述設(shè)置反饋循環(huán)被配置為設(shè)置所述多個(gè)子系統(tǒng)的一個(gè)或多個(gè)控制參數(shù)；和

多個(gè)調(diào)整反饋循環(huán)，每個(gè)調(diào)整反饋循環(huán)在所述主時(shí)鐘的一個(gè)時(shí)鐘周期內(nèi)執(zhí)行，并且在所述設(shè)置反饋循環(huán)之后執(zhí)行，每個(gè)調(diào)整反饋循環(huán)被配置用于驗(yàn)證所述一個(gè)或多個(gè)控制參數(shù)的所述設(shè)置并用于調(diào)整所述一個(gè)或多個(gè)控制參數(shù)的所述設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的通信系統(tǒng)，其中，所述相應(yīng)數(shù)量的反饋循環(huán)還包括：

多個(gè)監(jiān)測反饋循環(huán)，其在所述步驟時(shí)段內(nèi)在所述多個(gè)調(diào)整反饋循環(huán)之后執(zhí)行。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的通信系統(tǒng)，其中，所述反饋循環(huán)包括：

測量由所述相應(yīng)的子系統(tǒng)控制的參數(shù)的第一步驟；

處理所測得的參數(shù)的第二步驟；

基于處理后的所測得的參數(shù)確定變化的第三步驟；以及

通過在所述主時(shí)鐘的時(shí)鐘速度的一個(gè)周期內(nèi)向所述相應(yīng)的子系統(tǒng)傳送相應(yīng)的控制信號(hào)來施加所述變化的第四步驟。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的通信系統(tǒng)，其中，所述反饋循環(huán)包括比例-積分-微分(PID)控制循環(huán)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的通信系統(tǒng)，其中，所述多個(gè)處理步驟以原子層精度進(jìn)行沉積處理而沒有自限反應(yīng)，所述處理步驟包括：

激活步驟；和

沉積步驟。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的通信系統(tǒng)，其中，所述多個(gè)處理步驟以原子層精度進(jìn)行蝕刻處理而沒有自限反應(yīng)，所述處理步驟包括：

激活步驟；和

蝕刻步驟。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的通信系統(tǒng)，其中，所述時(shí)鐘速度基于將在所述步驟時(shí)段的所述片段期間執(zhí)行的所述預(yù)定數(shù)量的時(shí)鐘周期。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的通信系統(tǒng)，其中，所述時(shí)鐘速度是通過執(zhí)行一個(gè)反饋循環(huán)所需的時(shí)間的倒數(shù)來計(jì)算的。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的通信系統(tǒng)，其中，傳送到第一子系統(tǒng)的控制信號(hào)基于對由第二子系統(tǒng)控制的至少一個(gè)參數(shù)的測量。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的通信系統(tǒng)，其中，所述控制信號(hào)是被傳送到作為所述第一子系統(tǒng)的至少一個(gè)RF發(fā)生器的RF功率控制信號(hào)，其中，所述控制信號(hào)基于對所述處理模塊內(nèi)的第一氣體化學(xué)物質(zhì)和第二氣體化學(xué)物質(zhì)的測量，所述第一氣體化學(xué)物質(zhì)和所述第二氣體化學(xué)物質(zhì)在執(zhí)行所述多個(gè)處理步驟時(shí)使用，并由作為所述第二子系統(tǒng)的至少一個(gè)氣體供應(yīng)歧管控制。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的通信系統(tǒng)，其中，所述分布式控制器按照通用模塊歐羅巴(VME)標(biāo)準(zhǔn)或其衍生品中的一種進(jìn)行操作。