[發明專利]研磨用組合物

在審

• 申請號: 201880084023.1
• 申請日: 2018-12-20
• 公開（公告）號: CN111527589A
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發明（設計）人: 杉田規章;松下隆幸
• 申請（專利權）人: 霓達杜邦股份有限公司
• 主分類號: H01L21/304
• 分類號: H01L21/304;B24B37/00;C09K3/14
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 戴彬

1.一種研磨用組合物，其包含磨粒、堿性化合物、和具有下述通式(1)所表示的1，2-二醇結構單元的乙烯醇系樹脂，

所述乙烯醇系樹脂中，下述通式(2)所表示的結構單元的摩爾濃度在全部結構單元中為2摩爾％以上，

其中，R¹、R²及R³分別獨立地表示氫原子或有機基團，X表示單鍵或鍵合鏈，R⁴、R⁵及R⁶分別獨立地表示氫原子或有機基團。

2.根據權利要求1所述的研磨用組合物，其還包含非離子性表面活性劑。

3.根據權利要求1或2所述的研磨用組合物，其中，所述堿性化合物為選自堿金屬氧化物、堿金屬鹽、氨、胺、銨鹽和季銨氫氧化物類中的1種以上。