[發明專利]冷卻設備、半導體制造裝置和半導體制造方法

有效

• 申請號: 201880083832.0
• 申請日: 2018-11-29
• 公開（公告）號: CN111527452B
• 公開（公告）日: 2022-08-12
• 發明（設計）人: 野元誠
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/683
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 宋巖

1.一種冷卻設備，包括：

槽；

第一路徑，被配置成通過泵循環液相制冷劑以便從槽提取液相制冷劑、冷卻液相制冷劑，并且將液相制冷劑返回到槽；以及

從第一路徑分支的第二路徑，

所述第二路徑包括被配置成加熱從第一路徑供應的液相制冷劑的加熱器、被配置成減小由加熱器加熱的制冷劑的壓力的節流閥以及被配置成通過來自冷卻目標的熱使通過節流閥的制冷劑的至少一部分汽化的汽化器，并且通過節流閥的制冷劑被返回到槽。

2.根據權利要求1所述的冷卻設備，還包括：

溫度檢測器，被配置成檢測通過節流閥的制冷劑的溫度；以及

溫度控制器，被配置成基于來自溫度檢測器的輸出控制加熱器。

3.根據權利要求2所述的冷卻設備，其中，第一路徑包括熱交換器，并且由泵從槽抽吸的制冷劑通過熱交換器被返回到槽。

4.根據權利要求3所述的冷卻設備，其中，第二路徑與第一路徑的分支點被布置在泵與熱交換器之間。

5.根據權利要求4所述的冷卻設備，其中，第一路徑還包括布置在第二路徑的分支點與槽之間的第一節流閥。

6.根據權利要求3所述的冷卻設備，還包括：

檢測器，被配置成檢測槽中的汽化的制冷劑的量；以及

控制器，被配置成基于來自檢測器的輸出控制熱交換器。

7.根據權利要求6所述的冷卻設備，其中，在槽中沒有被汽化的氣體被密封在槽中。

8.根據權利要求7所述的冷卻設備，其中，所述氣體生成局部壓力，所述局部壓力等同于從第二路徑返回到槽的制冷劑的蒸汽壓與槽中的制冷劑的蒸汽壓之間的差。

9.根據權利要求7所述的冷卻設備，其中，所述氣體的局部壓力不低于泵的NPSH(凈正抽吸頭)。

10.根據權利要求3所述的冷卻設備，還包括熱泵，所述熱泵被配置成將從熱交換器排出的熱移動到加熱器，

其中，加熱器被配置成通過使用從熱泵提供的熱對從第一路徑供應的液相制冷劑進行加熱。

11.根據權利要求10所述的冷卻設備，其中，基于來自溫度檢測器的輸出控制熱泵。

12.根據權利要求6所述的冷卻設備，還包括熱泵，所述熱泵被配置成將從熱交換器排出的熱移動到加熱器，

其中，加熱器被配置成通過使用從熱泵提供的熱對從第一路徑供應的液相制冷劑進行加熱，并且

基于來自溫度檢測器的輸出和來自檢測器的輸出控制熱泵。

13.根據權利要求1所述的冷卻設備，其中，槽包括具有比槽中的水平截面積大的截面積的構件，并且

所述構件被布置為接觸槽中的液相制冷劑和從第二路徑返回的制冷劑。

14.根據權利要求13所述的冷卻設備，其中，從第一路徑返回到槽的制冷劑被返回到槽以便從所述構件上方落下。

15.根據權利要求1所述的冷卻設備，其中，從第一路徑返回到槽的制冷劑從槽上方作為淋浴或薄霧落下或噴射。

16.根據權利要求1所述的冷卻設備，還包括第二熱交換器，所述第二熱交換器被配置成執行由加熱器加熱的制冷劑與第二冷卻目標之間的熱交換。

17.根據權利要求16所述的冷卻設備，其中，通過第二熱交換器的制冷劑被返回到槽。

18.根據權利要求17所述的冷卻設備，還包括布置在第二熱交換器與槽之間的路徑上的節流閥。