[發明專利]合金原子層沉積中前體的均質混合的系統和方法

在審

• 申請號: 201880082209.3
• 申請日: 2018-12-06
• 公開（公告）號: CN111492092A
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發明（設計）人: 伊拉尼特·費希爾;拉什納·胡馬雍;米卡爾·達內克;帕特里克·范克利蒙布特;施盧蒂·托姆貝爾
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/06;C23C16/52;H01L21/02;H01L21/67
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 樊英如;張靜

1.一種方法，其包括：

將襯底布置在處理室中；

將所述襯底暴露于包含第一金屬前體氣體和第二金屬前體氣體的氣體混合物，以將第一金屬前體和第二金屬前體同時沉積到所述襯底上；

清掃所述處理室；

供應所述第一金屬前體和所述第二金屬前體兩者共同的反應物，以在所述襯底上形成合金層；以及

清掃所述處理室。

2.根據權利要求1所述的方法，其還包括以預定的比例供應所述第一金屬前體氣體和所述第二金屬前體氣體。

3.根據權利要求1所述的方法，其還包括重復以下序列：使所述襯底暴露于所述氣體混合物；清掃所述處理室；供應所述反應物；以及清掃所述處理室，直到預定厚度的所述合金沉積在所述襯底上。

4.根據權利要求1所述的方法，其還包括：

以預定的比例供應所述第一金屬前體氣體和所述第二金屬前體氣體；

重復以下序列：供應所述第一金屬前體氣體和所述第二金屬前體氣體，清掃所述處理室，供應所述反應物以及清掃所述處理室；并且

當重復該序列時改變所述預定的比例。

5.根據權利要求1所述的方法，其進一步包括改變所述第一金屬前體氣體和所述第二金屬前體氣體的流速以改變所述合金的金屬組成。

6.根據權利要求1所述的方法，其還包括：

在供應所述第一金屬前體氣體和所述第二金屬前體氣體之前，選擇用于操作所述處理室的參數；以及

改變所述參數以改變所述合金的金屬組成。

7.根據權利要求1所述的方法，其進一步包括在不退火的情況下在所述襯底上形成所述合金層。

8.一種方法，其包括：

將襯底布置在處理室中；以及

通過以下方式在所述襯底上形成合金層：

將所述襯底暴露于包含第一金屬前體氣體和第二金屬前體氣體的氣體混合物，以將第一金屬前體和第二金屬前體同時沉積到所述襯底上；

清掃所述處理室；

供應用于所述第一金屬前體的第一反應物；

清掃所述處理室；

供應用于所述第二金屬前體的第二反應物；以及

清掃所述處理室。

9.根據權利要求8所述的方法，其還包括以預定的比例供應所述第一金屬前體氣體和所述第二金屬前體氣體。

10.根據權利要求8所述的方法，其還包括重復以下序列：供應所述氣體混合物；清掃所述處理室；供應所述第一反應物；清掃所述處理室；供應所述第二反應物；以及清掃所述處理室，直到預定厚度的所述合金沉積在所述襯底上。

11.根據權利要求8所述的方法，其還包括：

以預定的比例供應所述第一金屬前體氣體和所述第二金屬前體氣體；

重復以下序列：供應所述第一金屬前體氣體和所述第二金屬前體氣體，清掃所述處理室，供應所述第一反應物，清掃所述處理室，供應所述第二反應物以及清掃所述處理室；并且

當重復該序列時改變所述預定的比例。

12.根據權利要求8所述的方法，其進一步包括改變所述第一金屬前體氣體和所述第二金屬前體氣體的流速以改變所述合金的金屬組成。

13.根據權利要求8所述的方法，其還包括：

在供應所述第一金屬前體氣體和所述第二金屬前體氣體之前，選擇用于操作所述處理室的參數；以及

改變所述參數以改變所述合金的金屬組成。

14.根據權利要求8所述的方法，其進一步包括在不退火的情況下在所述襯底上形成所述合金層。