[發(fā)明專利]有機(jī)膜形成裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880080915.4
• 申請(qǐng)日: 2018-12-13
• 公開（公告）號(hào): CN111566428B
• 公開（公告）日: 2022-03-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 西部幸伸;磯明典;大森圭悟;高橋崇史
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 芝浦機(jī)械電子株式會(huì)社
• 主分類號(hào): F26B9/06
• 分類號(hào): F26B9/06;F26B3/30;F26B25/10;F27B17/00;F27D7/06;G02F1/13;G02F1/1337
• 代理公司: 北京信慧永光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11290
• 代理人: 李雪春;閻文君

1.一種有機(jī)膜形成裝置，具備：

腔，可維持比大氣壓更被減壓的環(huán)境；

至少1個(gè)處理室，設(shè)置在所述腔的內(nèi)部且被罩圍住；

及排氣部，設(shè)置在所述腔的底面，可對(duì)所述腔的內(nèi)部進(jìn)行排氣，其特征為，

所述處理室中設(shè)置有：

上部加熱部，具有呈棒狀且在規(guī)定的方向上排列設(shè)置的多個(gè)第1加熱器；

下部加熱部，具有呈棒狀且在規(guī)定的方向上排列設(shè)置的多個(gè)第2加熱器，與所述上部加熱部對(duì)峙；

上部均熱板，在所述上部加熱部的所述下部加熱部側(cè)離開所述多個(gè)第1加熱器而被設(shè)置；

下部均熱板，在所述下部加熱部的所述上部加熱部側(cè)離開所述多個(gè)第2加熱器而被設(shè)置；

框架，具有骨架構(gòu)造，并設(shè)置成包圍所述處理室；

及呈棒狀體的多個(gè)工件支撐部，在對(duì)工件加熱時(shí)，能夠在所述上部均熱板與所述下部均熱板之間隔著間隙支撐所述工件，所述工件具有基板和涂布于所述基板的上面的含有聚酰胺酸的溶液，所述多個(gè)工件支撐部按照一端部與所述工件的下面接觸的方式直立設(shè)置，

所述罩呈平板狀，覆蓋所述框架的上面、底面和側(cè)面，

在所述罩中的所述框架的上面與側(cè)面的邊界和所述框架的側(cè)面與底面的邊界具有間隙，所述間隙連接所述腔的內(nèi)壁與所述罩之間的空間和所述處理室，

所述處理室具有連通于所述腔的空間，

所述排氣部對(duì)所述腔的內(nèi)部的壓力進(jìn)行減壓，同時(shí)對(duì)所述腔的內(nèi)壁與所述罩之間的空間的壓力進(jìn)行減壓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)膜形成裝置，其特征為，

設(shè)置有：上部均熱板支撐部，裝拆自如地支撐所述上部均熱板；

及下部均熱板支撐部，裝拆自如地支撐所述下部均熱板。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的有機(jī)膜形成裝置，其特征為，

所述處理室在上下方向上重疊設(shè)置有多個(gè)，

設(shè)置在下側(cè)的所述處理室中的所述上部加熱部兼作設(shè)置在上側(cè)的所述處理室中的所述下部加熱部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的有機(jī)膜形成裝置，其特征為，

在所述規(guī)定的方向上，在所述處理室的兩側(cè)的側(cè)部還分別設(shè)置有側(cè)部均熱板，

所述側(cè)部均熱板設(shè)置在所述罩的內(nèi)側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的有機(jī)膜形成裝置，其特征為，

所述腔具有相對(duì)著的開口，

在與所述規(guī)定的方向正交的方向上，在所述處理室的兩側(cè)還分別設(shè)置有側(cè)部均熱板，

所述側(cè)部均熱板設(shè)置在堵塞一個(gè)所述開口的蓋的內(nèi)側(cè)及堵塞另一個(gè)所述開口的開閉門的內(nèi)側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)膜形成裝置，其特征為，在所述側(cè)部均熱板與所述罩之間，還具備離開所述側(cè)部均熱板及所述罩而設(shè)置的至少1個(gè)第3加熱器。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)膜形成裝置，其特征為，還具備裝拆自如地支撐所述側(cè)部均熱板的支撐部。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)膜形成裝置，其特征為，所述上部均熱板及所述下部均熱板包含鋁、銅、不銹鋼中的至少任意一個(gè)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的有機(jī)膜形成裝置，其特征為，當(dāng)所述上部均熱板及所述下部均熱板包含所述銅時(shí)，在表面上設(shè)置含有鎳的層。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機(jī)膜形成裝置，其特征為，

所述上部加熱部具有在與所述多個(gè)第1加熱器排列的方向正交的方向上對(duì)峙的一對(duì)保持架，

在所述一對(duì)保持架上固定多個(gè)所述上部均熱板支撐部，

所述上部均熱板具有折彎部，

所述上部均熱板支撐部具有向所述上部均熱板突出的折彎部，

當(dāng)所述上部均熱板支撐部的折彎部的頂端接觸所述上部均熱板的下面時(shí)，所述上部均熱板的折彎部的頂端并不接觸所述上部均熱板支撐部，

當(dāng)所述上部均熱板支撐部的折彎部的頂端并未接觸所述上部均熱板的下面時(shí)，所述上部均熱板的折彎部的頂端接觸所述上部均熱板支撐部。