[發(fā)明專利]粘合性層疊體、帶樹(shù)脂膜的加工對(duì)象物制造方法及帶固化樹(shù)脂膜的固化密封體的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880079499.6
• 申請(qǐng)日: 2018-12-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111448275B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中山武人;岡本直也;阿久津高志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 琳得科株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C09J7/29
• 分類號(hào): C09J7/29;B32B7/06;B32B27/00;C09J11/00;C09J201/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 王利波

1.一種粘合性層疊體，其具備：

熱膨脹性的粘合片(I)、以及

樹(shù)脂膜形成用片(II)，

所述熱膨脹性的粘合片(I)具有由第1粘合劑層(X11)及第2粘合劑層(X12)夾持基材(Y1)的結(jié)構(gòu)，且粘合片(I)所具有的基材(Y1)具有包含熱膨脹性粒子的熱膨脹性基材層(Y1-1)，

所述樹(shù)脂膜形成用片(II)具有基材(Y2)及固化性樹(shù)脂層(Z2)，

所述粘合性層疊體具有粘合片(I)的第1粘合劑層(X11)與樹(shù)脂膜形成用片(II)的基材(Y2)直接層疊而成的結(jié)構(gòu)，且用于在實(shí)施給定加工時(shí)將加工對(duì)象物固定于支撐體，

其中，

粘合片(I)的第2粘合劑層(X12)的表面是與所述支撐體粘貼的面，

樹(shù)脂膜形成用片(II)的固化性樹(shù)脂層(Z2)的表面是粘貼所述加工對(duì)象物的面，

通過(guò)在所述熱膨脹性粒子的熱膨脹起始溫度(t)以上的溫度下的加熱處理，能夠在粘合片(I)與樹(shù)脂膜形成用片(II)的基材(Y2)的界面P發(fā)生分離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粘合性層疊體，其中，所述熱膨脹性粒子的熱膨脹起始溫度(t)為60～270℃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粘合性層疊體，其中，粘合片(I)所具有的基材(Y1)進(jìn)一步具有非熱膨脹性基材層(Y1-2)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的粘合性層疊體，其中，粘合片(I)所具有的基材(Y1)進(jìn)一步具有非熱膨脹性基材層(Y1-2)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粘合性層疊體，其中，

第1粘合劑層(X11)是包含所述熱膨脹性粒子的熱膨脹性粘合劑層，

第2粘合劑層(X12)是非熱膨脹性粘合劑層。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的粘合性層疊體，其中，

第1粘合劑層(X11)是包含所述熱膨脹性粒子的熱膨脹性粘合劑層，

第2粘合劑層(X12)是非熱膨脹性粘合劑層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的粘合性層疊體，其中，基材(Y2)的層疊有粘合片(I)一側(cè)的表面是實(shí)施了剝離處理的表面。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的粘合性層疊體，其中，固化性樹(shù)脂層(Z2)是由包含聚合物成分(A)及固化性成分(B)的固化性組合物(z)形成的層。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的粘合性層疊體，其中，固化性樹(shù)脂層(Z2)是由包含聚合物成分(A)及固化性成分(B)的固化性組合物(z)形成的層。

10.一種帶有樹(shù)脂膜的加工對(duì)象物的制造方法，其是使用權(quán)利要求1～9中任一項(xiàng)所述的粘合性層疊體制造帶有樹(shù)脂膜的加工對(duì)象物的方法，該方法具有下述工序(α-1)～(α-3)，

·工序(α-1)：將所述粘合性層疊體的粘合片(I)的粘合劑層(X12)的表面粘貼于支撐體、并且將加工對(duì)象物放置或粘貼于樹(shù)脂膜形成用片(II)的固化性樹(shù)脂層(Z2)的表面的工序，

·工序(α-2)：對(duì)所述加工對(duì)象物實(shí)施給定加工的工序，

·工序(α-3)：通過(guò)在所述熱膨脹性粒子的熱膨脹起始溫度(t)以上的加熱，在粘合片(I)與樹(shù)脂膜形成用片(II)的基材(Y2)的界面P發(fā)生分離，得到帶有樹(shù)脂膜的加工對(duì)象物的工序。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的帶有樹(shù)脂膜的加工對(duì)象物的制造方法，其中，在工序(α-2)中，使固化性樹(shù)脂層(Z2)固化，形成固化樹(shù)脂膜。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的帶有樹(shù)脂膜的加工對(duì)象物的制造方法，其中，在工序(α-2)之后且工序(α-3)之前具有下述工序(α-2’)，

·工序(α-2’)：使固化性樹(shù)脂層(Z2)固化，形成固化樹(shù)脂膜的工序。

13.一種帶有固化樹(shù)脂膜的固化密封體的制造方法，其是使用權(quán)利要求1～9中任一項(xiàng)所述的粘合性層疊體制造帶有固化樹(shù)脂膜的固化密封體的方法，該方法具有下述工序(β-1)～(β-3)，

·工序(β-1)：將支撐體粘貼于所述粘合性層疊體的粘合片(I)的粘合劑層(X12)的表面、并且將半導(dǎo)體芯片放置于樹(shù)脂膜形成用片(II)的固化性樹(shù)脂層(Z2)的工序，

·工序(β-2)：用密封材料包覆所述半導(dǎo)體芯片，使該密封材料固化，形成所述半導(dǎo)體芯片被密封而成的固化密封體，并且使固化性樹(shù)脂層(Z2)固化而形成固化樹(shù)脂膜的工序，

·工序(β-3)：通過(guò)在所述熱膨脹性粒子的熱膨脹起始溫度(t)以上的加熱，在粘合片(I)與樹(shù)脂膜形成用片(II)的基材(Y2)的界面P發(fā)生分離，得到帶有固化樹(shù)脂膜的固化密封體的工序。