[發明專利]光波導上的抗反射涂層

有效

• 申請號: 201880079474.6
• 申請日: 2018-12-10
• 公開（公告）號: CN111448497B
• 公開（公告）日: 2023-08-04
• 發明（設計）人: C·佩羅茲;K·梅塞爾
• 申請（專利權）人: 奇躍公司
• 主分類號: G02B6/00
• 分類號: G02B6/00;G02B1/115;G02B27/01
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 賀月嬌;楊曉光

1.一種抗反射波導，包括：

具有第一表面和第二表面以及第一折射率的第一平面波導基底，其中所述第一平面波導基底被配置為在基本上第一方向上傳播光，其中所述第一平面波導基底的所述第一表面和所述第二表面被設置在所述第一平面波導基底的相反兩側上；

設置在所述第一平面波導基底的所述第一表面上的多個衍射光學元件，用于使光在與所述第一方向基本正交的第二方向上離開所述第一平面波導基底朝向觀看者衍射，在與所述第一方向基本正交的第三方向上遠離所述觀看者衍射到所述第一平面波導基底中，并且所述光的一部分在所述基本上第一方向上通過全內反射在所述多個衍射光學元件和抗反射涂層之間繼續傳播；

設置在所述第一平面波導基底的所述第二表面上的所述抗反射涂層，通過所述抗反射涂層，在所述第三方向上折射的所述光離開所述第一平面波導基底，其中所述抗反射涂層增加所述光通過所述第一平面波導基底的所述第二表面的透射；以及

具有第一表面和第二表面以及所述第一折射率的第二平面波導基底，其中所述第二平面波導基底的所述第一表面和所述第二表面設置在所述第二平面波導基底的相反兩側上，其中所述抗反射涂層減少從所述第一平面波導基底的所述第二表面的光的反射，并且增加通過所述第一平面波導基底的所述第二表面進入所述第二平面波導基底中的光的透射。

2.根據權利要求1所述的抗反射波導，其中，所述通過全內反射傳播的光包括s偏振分量和p偏振分量。

3.根據權利要求2所述的抗反射波導，其中，所述抗反射涂層被配置為減小所述s偏振分量和所述p偏振分量之間的相位延遲，使得通過波導的所述s偏振分量的入射角與所述p偏振分量的入射角基本相似。

4.根據權利要求1所述的抗反射波導，其中，至少97％的光透射通過所述第一平面波導基底的所述第二表面。

5.根據權利要求2所述的抗反射波導，其中，所述第一平面波導基底是玻璃，并且所述抗反射涂層包括MgF₂層。

6.根據權利要求5所述的抗反射波導，其中，所述MgF₂層具有75nm至125nm之間的厚度。

7.根據權利要求5所述的抗反射波導，其中，所述抗反射涂層還包括SiO₂層。

8.根據權利要求6所述的抗反射波導，其中，所述MgF₂層緊鄰所述第一平面波導基底的所述第二表面設置。

9.根據權利要求7所述的抗反射波導，其中，所述SiO₂層被設置在所述MgF₂層上。

10.根據權利要求9所述的抗反射波導，其中，所述抗反射涂層的總折射率具有小于5×10^-4的虛折射率分量值。

11.根據權利要求9所述的抗反射波導，其中，所述抗反射涂層的總折射率具有5×10^-4至1×10^-3之間的虛折射率分量值。

12.根據權利要求2所述的抗反射波導，其中，所述抗反射涂層包括在第一材料和第二材料之間交替的少于八個層。

13.根據權利要求12所述的抗反射波導，其中，所述抗反射涂層由四個層組成。

14.根據權利要求12所述的抗反射波導，其中，所述第一材料具有與所述第二材料相比較高的折射率。

15.根據權利要求12所述的抗反射波導，其中，所述第一材料是TiO₂。