[發明專利]用于帶測量容積的具有箔腔室的測試泄漏的方法

有效

• 申請號: 201880076670.8
• 申請日: 2018-12-06
• 公開（公告）號: CN111406205B
• 公開（公告）日: 2022-06-28
• 發明（設計）人: 諾伯特·羅夫;西爾維奧·德克爾
• 申請（專利權）人: 英福康有限責任公司
• 主分類號: G01M3/32
• 分類號: G01M3/32
• 代理公司: 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 44414
• 代理人: 徐飛

使用箔腔室(10)接收試樣(22)以測試所述試樣是否存在泄漏的方法，其中，所述箔腔室(10)包括包圍箔腔室容積(20)的壁，這些壁具有至少一個與測量容積(34，36)鄰接的柔性壁部分，所述測量容積(34，36)布置在所述柔性壁部分的與所述箔腔室容積(20)相對的一側，并且與所述箔腔室容積(20)氣密地分離，所述方法包括下述步驟：將所述試樣(22)放入所述箔腔室(10)；關閉所述箔腔室(10)；抽空所述箔腔室(10)；以及在所述箔腔室(10)的抽空期間監測所述測量容積(34，36)；以便利用監視結果得出關于試樣(22)中可能泄漏的大小的結論，其特征在于，當所述箔腔室(10)在測量容積(34，36)中的壓力低于預定閾值時，將所述測量容積(34，36)與大氣連接的排氣閥(40)關閉；并且在一旦所述測量容積(34，36)內的所述壓力大于如所述箔腔室(20)的預設的閾值時被開啟。

技術領域

本發明涉及一種使用箔腔室測試試樣是否存在泄漏的方法。

背景

箔腔室是具有至少一個柔性壁部分的測試室，該柔性壁部分例如箔片制成。典型的箔腔室具有在測試樣品周圍彼此相對放置的兩個箔層，以完全包圍測試樣品。容納試樣后，將箔腔室密封并抽成真空。然后，監測箔腔室容積在試樣外的部分中的壓力變化，其中壓力增加被認為是試樣泄漏的指示。作為監視箔腔室容積中的壓力的替代方式，還可以監視柔性壁部分，其中，柔性壁部分或箔片的變化可以指示泄漏。DE102012200063A1中公開了這種方法。

DE102012200063A1描述了一種用于對試樣進行嚴重泄漏測試的箔腔室，該腔室具有在箔腔室容積中在柔性壁部分的相對側上鄰接于柔性壁部分的測量容積。測量容積與箔腔室容積密閉地形成。在箔腔室包括兩個柔性壁部分的一個實施例中，每個柔性壁部分均是一個箔片的形式，測量容積分別鄰接兩個箔片中的每一個。在所描述的方法中，將容納試樣的封閉的箔腔室抽成真空，在箔腔室的排空期間已經對測量容積進行監視，以便基于監視結果來評估試樣中可能的泄漏的大小。可以通過測量測量容積中的壓力或通過測量箔腔室中或來自箔腔室的氣體流量來實現對測量容積的監視。

當以這種方式檢查具有嚴重泄漏的試樣時，在將箔腔室抽真空的同時，也至少部分抽真空該試樣。由于箔腔室容積和測量容積之間的柔性壁部分，因此增大了測量容積。在此，測量容積的增大大于在緊密的試樣的情況下或在具有較小泄漏的試樣的情況下。在緊密的試樣的情況下，僅抽空試樣外部區域中的箔腔室容積。在具有大的泄漏的試樣的情況下，還抽真空試樣或至少一部分試樣容積，從而與緊的試樣相比抽出更大的容積。由此，測量容積的容積膨脹越大，則試樣的泄漏越大。基于測量容積和/或柔性壁部分的膨脹，然后可以評估試樣中可能泄漏的大小。

簡要說明

本發明的目的是允許對試樣進行嚴重泄漏檢測，特別是對于大的試樣，這種檢測得到改善。

本發明的方法由權利要求1的特征限定。

據此，在將測量容積與箔腔室周圍的大氣連接的氣體路徑中設置有可控的排氣閥，如果測量容積內的壓力低于閾值，則在箔腔室關閉時關閉該閥。當關閉箔腔室后，一旦測量容積中的壓力超過閾值，便會打開排氣閥。對于較小的試樣，在關閉箔腔室時不會超過測量容積中的壓力閾值，并且排氣閥保持關閉狀態。對于大的試樣，該試樣在關閉箔腔室時會相應地移出更大比例的測量體積，超過了測量體積中壓力的預定閾值，并且閥門被打開，多余的氣體可能從測量體積中逸出結果，從而柔性壁部分或箔片圍繞試樣。

在測量過程中，即在排空箔腔室后監測測量容積的過程中，排氣閥保持關閉。當取出試樣并將新的試樣放入箔腔室中以進行后續測量時，排氣閥也保持關閉狀態。在此，不必再次減小測量容積并且可以比以前更快地進行測量。在隨后的測量中使用較小的試樣的情況下，在排空箔腔室期間，將柔性壁部分或箔片拉到試樣的外輪廓上，從而以便擴大柔性測量容積或箔片所需的氣體可以流入。

附圖說明

在下文中，將參照附圖詳細說明本發明的實施例。在圖中：