[發明專利]壓力測量裝置

有效

• 申請號: 201880075003.8
• 申請日: 2018-10-24
• 公開（公告）號: CN111373235B
• 公開（公告）日: 2021-12-07
• 發明（設計）人: 雷內·齊爾曼;丹尼爾·?？怂固偕?/a>;丹尼斯·米勒
• 申請（專利權）人: 恩德萊斯和豪瑟爾歐洲兩合公司
• 主分類號: H01L23/02
• 分類號: H01L23/02
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 蔡石蒙;車文

1.壓力測量裝置，包括

載架(1)，

支撐體(3)，所述支撐體被布置在所述載架(1)上，

壓力傳感器(5)，所述壓力傳感器被布置在所述支撐體(3)上，

第一接合部(17)，所述第一接合部包括連接所述支撐體(3)與所述壓力傳感器(5)的接合材料，以及

第二接合部(19)，所述第二接合部包括連接所述支撐體(3)與所述載架(1)的接合材料，

其特征在于，所述支撐體(3)在面向所述壓力傳感器(5)的面上具有第一溝槽(21)，

所述第一溝槽以這樣的方式實現，

即：使得所述第一溝槽(21)在所有側面上在外部包圍所述支撐體(3)的面向所述壓力傳感器(5)的第一接合區域(23)，

所述支撐體(3)的所述第一接合區域(23)和所述第一接合部(17)的占地面積基本上等大，并且明顯小于所述壓力傳感器(5)的面向所述第一接合部(17)的基部區域，并且

所述第一溝槽(21)的寬度(b)大于或等于150μm至1mm的最小寬度，并且

所述第一溝槽(21)的深度(t)大于或等于0.3mm至2mm的最小深度，并且

被布置在所述支撐體(3)的面向所述載架(1)的面上的第二接合區域(29、33)大于或等于被布置在所述支撐體(3)的面向所述壓力傳感器(5)的面上的所述第一接合區域(23)。

2.根據權利要求1中所述的壓力測量裝置，其特征在于：

中間空間(25)形成無接合材料的中空空間，所述中間空間被布置在所述支撐體(3)的從外包圍所述第一溝槽(21)的表面與所述壓力傳感器(5)的相對放置的表面之間，

所述支撐體(3)具有占地面積，所述占地面積大于或等于所述壓力傳感器(5)的面向所述第一接合部(17)的面的面積，并且/或者

所述第一接合部(17)和/或所述第二接合部(19)被實現為玻璃焊料、軟焊料或粘性結合部。

3.根據權利要求1或2所述的壓力測量裝置，其特征在于：

所述壓力傳感器(5)的占地面積為1mm²至50mm²的數量級，

所述支撐體(3)的面向所述壓力傳感器(5)的所述第一接合區域(23)的尺寸為0.2mm²至20mm²，

所述載架(1)由金屬構成，

所述支撐體(3)由包括金屬陶瓷、氧化鋁(Al₂O₃)、碳化硅(SiC)、氮化硅(Si₃N₄)、氮化鋁(AlN)、玻璃或硅的材料構成，

所述支撐體(3)被實現為具有圓形、矩形或正方形的占地面積的基本上墊圈狀或盤狀的形體，并且/或者

所述支撐體(3)作為獨立元件被直接布置在所述載架(1)上，或者作為獨立元件被插入到所述載架(1)中的中空部(39)中，并且/或者

所述支撐體(3)的高度(H)大于或等于1mm，其中，所述高度(H)也大于或等于所述第一溝槽(21)的深度(t)的兩倍。

4.根據權利要求1或2所述的壓力測量裝置，其特征在于：

所述支撐體(3)在面向所述載架(1)的面上具有第二溝槽(27)，所述第二溝槽在所有側面上在外部包圍所述支撐體(3)的面向所述載架(1)的所述第二接合區域(29)，

所述第二接合部(19)的占地面積基本上等于由所述第二溝槽(27)包圍的所述第二接合區域(29)，

所述第二溝槽(27)的寬度(b)大于或等于150μm至1mm的最小寬度，并且

所述第二溝槽(27)的深度(t)大于或等于0.3mm至2mm的最小深度。