[發明專利]閥裝置以及使用該閥裝置的控制裝置的控制方法、流體控制裝置以及半導體制造裝置

在審

• 申請號: 201880074687.X
• 申請日: 2018-11-12
• 公開（公告）號: CN111373182A
• 公開（公告）日: 2020-07-03
• 發明（設計）人: 滝本昌彥;吉田俊英;近藤研太;土肥亮介;西野功二
• 申請（專利權）人: 株式會社富士金
• 主分類號: F16K31/02
• 分類號: F16K31/02;F16K1/00
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

本發明提供一種不使用限位開關就能夠對閥的開閉狀態進行檢測的閥裝置的控制裝置。閥裝置(1)具有對供流體流通的流路進行開閉的隔膜(20)、向流路的關閉方向對隔膜(20)施力的螺旋彈簧(90)、進行驅動以克服螺旋彈簧(90)的施力的主致動器(60)、以及利用了壓電元件的調整用致動器(100)，該壓電元件用于調整流路的基于隔膜(20)的開度，控制器(200)基于調整用致動器(100)的壓電元件產生的電壓來對流路的開閉狀態進行檢測，并且利用該檢測信號對閥裝置(1)進行控制。

技術領域

本發明涉及一種閥裝置以及該閥裝置的控制裝置。

背景技術

在半導體制造工藝中，為了將準確計量后的處理氣體向處理腔室供給，使用了將開閉閥、調節器、質量流量控制器等各種流體設備集成化而成的被稱作集成化氣體系統的流體控制裝置(例如，參照專利文獻1)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2007-64333號公報

專利文獻2：日本特開2011-154433號公報

發明內容

發明要解決的問題

在各種制造工藝中的處理氣體的供給控制中，要求更高的響應性，需要盡可能地使流體控制裝置小型化、集成化，并且將該流體控制裝置設置在更靠近作為流體的供給目的地的處理腔室的位置。

如專利文獻2等所公開的那樣，上述那樣的流體控制裝置所使用的閥裝置使用限位開關對閥的開閉狀態進行檢測。

若將使用限位開關對開閉狀態進行檢測的閥裝置用于半導體制造裝置，則妨礙半導體制造裝置的小型化。

本發明的目的之一在于提供一種不使用限位開關就能夠對閥的開閉狀態進行檢測的閥裝置以及該閥裝置的控制裝置。

用于解決問題的方案

本發明的閥裝置具有：

閥芯，其對供流體流通的流路進行開閉；

施力部件，其向所述流路的關閉方向對所述閥芯施力；

主致動器，其使所述閥芯克服所述施力部件的施力而進行移動；以及

利用了壓電元件的調整機構，該壓電元件用于調整所述流路的基于所述閥芯的開度，

該閥裝置形成為能夠輸出所述壓電元件產生的電壓或基于該電壓的信號。

本發明的控制裝置是閥裝置的控制裝置，

所述閥裝置具有：

閥芯，其對供流體流通的流路進行開閉；

施力部件，其向所述流路的關閉方向對所述閥芯施力；

致動器，其使所述閥芯克服所述施力部件的施力而進行移動；以及

利用了壓電元件的調整機構，該壓電元件用于調整所述流路的基于所述閥芯的開度，

所述控制裝置具有：

檢測部，其基于所述壓電元件產生的電壓來對所述流路的開閉狀態進行檢測；以及

控制部，其利用所述檢測部的檢測信號來對所述閥裝置進行控制。

本發明的控制方法是閥裝置的控制方法，

所述閥裝置具有：