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[發明專利]用于改變發電機的視在源阻抗的方法和裝置有效

專利信息
申請號: 201880074254.4 申請日: 2018-10-11
公開(公告)號: CN111357076B 公開(公告)日: 2023-03-21
發明(設計)人: G·J·J·范茲爾 申請(專利權)人: 先進能源工業公司
主分類號: H01J37/32 分類號: H01J37/32;H03H7/40
代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002 代理人: 林金朝
地址: 美國科*** 國省代碼: 暫無信息
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摘要:
搜索關鍵詞: 用于 改變 發電機 阻抗 方法 裝置
【權利要求書】:

1.一種用于控制連接到負載的發電機的方法,包括:

調節所述發電機的輸出,其中,響應于調節所述輸出,與根據參考阻抗Zc計算出的正向功率有關的第一測量值M1趨于M1的第一設定值S1;以及

調節S1,以便將發電機輸出的常規測量的第二測量值M2朝向M2的第二設定值S2調節。

2.根據權利要求1所述的方法,其中,根據所述參考阻抗Zc計算出的所述正向功率等于:

其中,v是參考點處的電壓,并且i是所述參考點處相對于所述負載流動的電流。

3.根據權利要求2所述的方法,其中,與根據所述參考阻抗Zc計算出的正向功率有關的第一測量值M1是從對v和i的數學運算得到的任何值x,使得針對與到所述負載的功率傳輸有關的v和i的所有組合,對于v和i的不同組合保持x恒定意味著對于v和i的那些相同組合保持|v+Zci|恒定。

4.根據權利要求2所述的方法,其中,與根據所述參考阻抗Zc計算出的正向功率有關的所述第一測量值M1等于f(|v+Zci|),其中,f是任何一對一的函數。

5.根據權利要求1所述的方法,其中,發電機輸出的常規測量的所述第二測量值M2是電壓、電流、傳輸功率或根據50Ω或75Ω計算出的正向功率之一。

6.根據權利要求2所述的方法,其中,所述參考點在所述發電機的輸出與所述負載之間。

7.根據權利要求2所述的方法,其中,所述參考點在數學上被延伸為距所述發電機比所述負載距所述發電機更遠,或者距所述負載比所述發電機距所述負載更遠。

8.根據權利要求1所述的方法,其中,Zc是可調節的。

9.根據權利要求8所述的方法,其中,調節Zc以便提高穩定性。

10.根據權利要求9所述的方法,其中,通過將Zc設置為等于下式來建立Zc

其中,ρ是幅值在0到1之間的復數,并且ρ的角度從0°到360°改變,并且其中Zc是基于到所述負載的功率傳輸中的任何振蕩的頻率以及基于操作的穩定區域來建立的,在所述操作中,存在振蕩頻率的急劇變化。

11.根據權利要求8所述的方法,其中,所述負載是等離子體負載,并且調節Zc以便提高等離子體激發。

12.根據權利要求1所述的方法,其中,所述發電機是射頻發電機,并且Zc能夠取復數值。

13.根據權利要求1所述的方法,其中,所述發電機是直流發電機,并且Zc被限制為實數值。

14.根據權利要求1所述的方法,其中,|Zc-Z0|/|Zc+Z0|>0.3,其中Z0是用于傳導功率的同軸電纜的特征阻抗。

15.根據權利要求14所述的方法,其中,Z0=50。

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