[發明專利]薄膜沉積用前體溶液以及利用該前體溶液的薄膜形成方法在審
| 申請號： | 201880074115.1 | 申請日： | 2018-11-13 |
| 公開（公告）號： | CN111527237A | 公開（公告）日： | 2020-08-11 |
| 發明（設計）人： | 樸容主;吳瀚率;黃仁天;金相鎬;洪暢成;李相京 | 申請（專利權）人： | 思科特利肯株式會社 |
| 主分類號： | C23C16/455 | 分類號： | C23C16/455;C23C16/34;C23C16/448;C23C16/08 |
| 代理公司： | 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286 | 代理人： | 劉燦強;姜長星 |
| 地址： | 韓國世宗*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜 沉積 用前體 溶液 以及 利用 形成 方法 | ||
1.一種薄膜沉積用前體溶液，其特征在于，
由選自能夠在室溫溶解金屬鹵化物的液相烯烴或者液相炔烴的功能性溶劑以及溶于所述功能性溶劑而在室溫下以液相存在的金屬鹵化物構成。
2.如權利要求1所述的薄膜沉積用前體溶液，其特征在于，
所述金屬鹵化物為氟化金屬或者氯化金屬。
3.如權利要求1所述的薄膜沉積用前體溶液，其特征在于，
所述烯烴為直線形烯烴、環形烯烴、分支形烯烴中的一個以上，
所述炔烴為直線形炔烴、分支形炔烴中的一個以上。
4.如權利要求1所述的薄膜沉積用前體溶液，其特征在于，
以1:0.01至1:20的摩爾比混合所述金屬鹵化物和功能性溶劑。
5.一種利用薄膜沉積用前體溶液的薄膜形成方法，利用權利要求1所述的薄膜沉積用前體溶液，其特征在于，包括如下步驟：
薄膜沉積用前體溶液供應步驟，混合金屬鹵化物和功能性溶劑而供應到腔室內。
6.一種利用薄膜沉積用前體溶液的薄膜形成方法，利用權利要求1所述的薄膜沉積用前體溶液，其特征在于，包括如下步驟：
薄膜沉積用前體溶液供應步驟，將金屬鹵化物和所述功能性溶劑獨立地同時供應到腔室內。
7.一種利用薄膜沉積用前體溶液的薄膜形成方法，利用權利要求1所述的薄膜沉積用前體溶液，其特征在于，包括如下步驟：
薄膜沉積用前體溶液供應步驟，在金屬鹵化物被供應到腔室內的狀態下將所述功能性溶劑供應到所述腔室內。
8.如權利要求5至權利要求7中的任意一項所述的利用薄膜沉積用前體溶液的薄膜形成方法，其特征在于，包括如下步驟：
吹掃步驟，在所述薄膜沉積用前體溶液供應步驟之后吹掃所述腔室；
向被吹掃的所述腔室附加供應功能性溶劑。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
