[發(fā)明專利]泵裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880074069.5
• 申請日: 2018-12-19
• 公開（公告）號: CN111356840B
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鈴木敏生;橋本建治
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社愛發(fā)科
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C18/16;F04C29/12
• 代理公司: 北京柏杉松知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11413
• 代理人: 袁波;劉繼富

本發(fā)明的一個方式所涉及的泵裝置具有流體通道。所述流體通道具有：設(shè)置于殼體的第二端部的第一連接口；設(shè)置于所述殼體的第一主面部的第二連接口；從所述第一連接口起與第一軸的方向平行地延伸，連通所述第一連接口和所述第二連接口之間的第一通道部；以及連通所述第一通道部和泵室之間的第二通道部。所述第一通道部具有：在與所述第一軸的方向正交的第二軸的方向上彼此相向的兩個側(cè)壁部；以及包含從所述兩個側(cè)壁部向所述泵室內(nèi)的一對螺桿軸的軸心之間傾斜的一對傾斜面的底壁部。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及具有一對螺桿轉(zhuǎn)子的泵裝置。

背景技術(shù)

作為容積型的干式真空泵，已知有例如雙螺桿泵。這種螺桿泵具備具有吸入口和排出口的殼體、以及收容于殼體的一對螺桿轉(zhuǎn)子，該螺桿泵被構(gòu)成為通過使這一對螺桿轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)來將氣體從吸入口向排出口輸送。此外，通常將這種真空泵多級連接來謀求排氣能力的提高(例如，參照專利文獻1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利第6100038號公報。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

近年來，在這種真空泵中，小型化、低高度化的要求日益提高。例如，期待一種即使在上下連接多臺真空泵進行多級化時也能夠使泵整體的設(shè)置高度變低的結(jié)構(gòu)。

鑒于如上的情況，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠謀求小型化、低高度化的泵裝置。

用于解決課題的方案

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的一個方式所涉及的泵裝置具有一對螺桿軸、殼體、驅(qū)動機構(gòu)以及流體通道。

所述一對螺桿軸與第一軸的方向平行地配置，在與所述第一軸正交的第二軸的方向上彼此鄰接。

所述殼體具有：在第一軸的方向上彼此相向的第一端部和第二端部；收容所述一對螺桿軸并在所述第二軸的方向上彼此連接的泵室；以及與所述泵室在與所述第一軸和所述第二軸分別正交的第三軸的方向上相向的第一主面部。

所述驅(qū)動機構(gòu)被構(gòu)成為：與所述第一端部連接，能夠使所述一對螺桿軸旋轉(zhuǎn)。

所述流體通道具有：設(shè)置于所述第二端部的第一連接口；設(shè)置于所述第一主面部的第二連接口；從所述第一連接口起與所述第一軸的方向平行地延伸，連通所述第一連接口和所述第二連接口之間的第一通道部；以及連通所述第一通道部和所述泵室之間的第二通道部，所述第一通道部具有：在所述第二軸的方向上彼此相向兩個側(cè)壁部；以及包含從所述兩個側(cè)壁部向所述一對螺桿軸的軸心之間傾斜的一對傾斜面的底壁部。

在上述泵裝置中，連通第一連接口和第二連接口之間的第一通道部具有底壁部，所述底壁部包含從在第二軸的方向上彼此相向的兩個側(cè)壁部向一對螺桿軸的軸心之間傾斜的一對傾斜面，因此能夠在確保第一通道部的流路截面面積的同時縮短第一通道部和泵室之間的距離。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)殼體的薄型化或低高度化。

也可以是：所述一對傾斜面分別是向所述第一通道部的內(nèi)方呈凸起的形狀的彎曲面。

也可以是：所述第二通道部與所述第三軸的方向平行地延伸，所述第一通道部和所述第二通道部的連接點與所述第一連接口在所述第一軸的方向上相向。

也可以是：所述泵裝置還具有軸承單元。

所述軸承單元包含一對軸承和一對軸承保持器。所述一對軸承被設(shè)置在所述第二端部，以分別能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承所述一對螺桿軸。一對軸承保持器保持所述一對軸承。

所述一對軸承保持器分別使用三個第一緊固件被固定在所述另一端部，所述三個第一緊固件中的兩個位于比所述一對軸承的軸心靠所述第一連接口的相反側(cè)，所述三個第一緊固件中的剩余的一個位于比所述一對軸承的軸心靠所述第一連接口一側(cè)。