[發(fā)明專利]玻璃基板

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880073224.1
• 申請(qǐng)日: 2018-10-17
• 公開（公告）號(hào): CN111356663A
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 奧隼人;山本好晴;中塚弘樹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日本電氣硝子株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C03C15/00
• 分類號(hào): C03C15/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 任巖

玻璃基板(1)具有第一主表面(2)和第二主表面(3)。第一主表面(2)的表面粗糙度Ra為0.2nm以下，第二主表面(3)的中央?yún)^(qū)域(4)的表面粗糙度Ra為0.3nm以上且1.0nm以下，在第二主表面(3)的外周區(qū)域(5)中，設(shè)置有顯示出比中央?yún)^(qū)域(4)的表面粗糙度Ra大0.2nm以上的表面粗糙度Ra的表面粗糙化區(qū)域(A)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種玻璃基板。

背景技術(shù)

眾所周知，關(guān)于近年來的圖像顯示裝置，以液晶顯示器(LCD)、等離子體顯示器(PDP)、場(chǎng)致發(fā)射顯示器(FED)、有機(jī)EL顯示器(OELD)等為代表的平板顯示器(以下，簡(jiǎn)稱為FPD)成為主流。關(guān)于這些FPD，正在推進(jìn)輕量化，因此關(guān)于FPD中所使用的玻璃基板，對(duì)于薄板化的要求也變高。

上述玻璃基板通過如下方式獲得：將例如通過以各種下拉法為代表的板狀玻璃的成形方法而成形為帶狀的板狀玻璃(帶狀板玻璃)在長(zhǎng)度方向上切割成規(guī)定的尺寸，將經(jīng)切割的板狀玻璃的寬度方向(是指與帶狀板玻璃的主表面平行、且與長(zhǎng)度方向正交的方向，以下相同)兩端部分進(jìn)一步切割后，根據(jù)需要對(duì)各切割面實(shí)施研磨加工等。

然而，當(dāng)使用這種玻璃基板來制造FPD時(shí)，有時(shí)其制造過程中的靜電的帶電成為問題。即，作為絕緣體的玻璃容易帶電，因此例如當(dāng)將玻璃基板載置于載置臺(tái)上來實(shí)施規(guī)定的加工時(shí)，有時(shí)因玻璃基板與載置臺(tái)的接觸及剝離而導(dǎo)致玻璃基板帶電(有時(shí)將其稱為剝離帶電)。若導(dǎo)電性的物體靠近已帶電的玻璃基板，則產(chǎn)生放電，存在因該放電而導(dǎo)致形成于玻璃基板的主表面上的各種元件或構(gòu)成電子電路的電極線的破損、或者玻璃基板自身的破損的擔(dān)心(有時(shí)將這些稱為絕緣破壞或靜電破壞)。另外，已帶電的玻璃基板容易粘著于載置臺(tái)上，也存在因?qū)⑵鋸?qiáng)行剝下而導(dǎo)致玻璃基板的破損的擔(dān)心。這些當(dāng)然成為顯示不良的原因，因此是應(yīng)極力避免的現(xiàn)象。

作為用于避免上述現(xiàn)象的手段，例如可考慮將規(guī)定的氣體供給至玻璃基板的背面(與載置臺(tái)的載置面接觸側(cè)的主表面)來對(duì)背面實(shí)施表面處理，由此對(duì)背面進(jìn)行粗糙化的方法(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。因存在玻璃基板與載置面的接觸面積越大，則剝離時(shí)的帶電量越增大的傾向，因此通過對(duì)與載置面接觸的玻璃基板的背面進(jìn)行粗糙化，從而減少玻璃基板與載置面的接觸面積，實(shí)現(xiàn)抑制剝離時(shí)的帶電。另外，鑒于玻璃基板的背面越平滑，則越容易粘著于如載置面這樣的平滑面這一點(diǎn)，而減少玻璃基板與載置面的接觸面積，由此使玻璃基板難以粘著于載置面，實(shí)現(xiàn)防止剝離時(shí)的玻璃基板的破損。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2014-80331號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

上述粗糙化通常遍及玻璃基板中的一個(gè)主表面的整個(gè)區(qū)域均勻地進(jìn)行。但是，己知在粗糙化的程度遍及主表面的整個(gè)區(qū)域均勻的狀態(tài)下，當(dāng)考慮了實(shí)際的玻璃基板的處理性時(shí)，存在未必適當(dāng)?shù)那闆r。即，在實(shí)際的剝離工序中，使設(shè)置于載置臺(tái)的多個(gè)部位的銷上升，由此從載置臺(tái)剝離玻璃基板。此時(shí)，玻璃基板從其端部起剝落。當(dāng)考慮了這種剝離動(dòng)作時(shí)，若表面粗糙度的分布為均勻的狀態(tài)，則存在無法充分地獲得粗糙化的效果的可能性。換言之，有可能存在適合于實(shí)際的剝離動(dòng)作的表面粗糙度分布。另外，若僅考慮剝離容易性，則只要整體性地提高背面的粗糙化程度(表面粗糙度)即可，但若如此操作，則粗糙化處理耗費(fèi)必要以上的時(shí)間，因此在生產(chǎn)性方面，進(jìn)而在成本方面稱不上優(yōu)選。

鑒于以上的情況，在本說明書中，將低成本地獲得具有適合于實(shí)際的剝離動(dòng)作的主表面的表面粗糙度分布的玻璃基板作為要解決的技術(shù)課題。

用于解決課題的手段