[發(fā)明專利]用于測試測試樣品電氣性能的探針和相關(guān)的接近探測器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201880071948.2 | 申請日： | 2018-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN111316110B | 公開（公告）日： | 2023-07-14 |
| 發(fā)明（設計）人： | F·W·奧斯特貝格;D·H·彼得森;H·H·亨里克森;A·卡利亞尼;O·漢森;P·F·尼爾森 | 申請（專利權(quán)）人： | 卡普雷斯股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/067 | 分類號： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11287 | 代理人： | 劉鋒 |
| 地址： | 丹麥*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 測試 樣品 電氣 性能 探針 相關(guān) 接近 探測器 | ||
1.一種使探針接近測試樣品以測試所述測試樣品的電氣性能的方法，所述方法包括：
提供具有限定用于支撐第一懸臂的平坦表面的探針主體的探針，和第一熱探測器，
-所述第一懸臂在所述平坦表面支撐的第一近端與與所述第一近端相對的第一遠端之間以相對于所述平坦表面共面的關(guān)系從所述探針主體延伸，
所述第一懸臂具有支撐第一接觸探針的懸臂表面，
-所述第一熱探測器在所述平坦表面支撐的第二近端與與所述第二近端相對的第二遠端之間以相對于所述平坦表面共面的關(guān)系從所述探針主體延伸，所述第一熱探測器具有支撐具有溫度依賴性電阻的電導體的探測器表面，以及提供支撐所述第一熱探測器和所述第一接觸探針的膜，其中所述第一熱探測器的遠端距所述膜的頂部邊緣有第一距離，且所述第一接觸探針的遠端延伸到所述膜的所述頂部邊緣，以及
所述方法進一步包括：
在所述電導體與所述測試樣品之間建立溫差，
在所述電導體中注入電流，
提供電子電路，將所述電子電路連接到所述電導體，在將所述探針移向所述測試樣品的同時借助于所述電子電路測量所述溫度依賴性電阻，并且當所述溫度依賴性電阻達到表示所述接觸探針接近或接觸所述測試樣品的發(fā)生的第一閾值時停止所述探針。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，所述探針具有以相對于所述平坦表面共面的關(guān)系從所述探針主體延伸的第二懸臂。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，包括通過測量跨所述溫度依賴性電阻的電壓降來測量所述溫度依賴性電阻。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，所述探針具有以相對于所述平坦表面共面的關(guān)系從所述探針主體延伸的第二熱探測器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，所述第一熱探測器相對于所述探針主體限定回路。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，包括提供加熱器或冷卻器，用于建立所述電導體與所述測試樣品之間的所述溫差。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，所述電流具有使得所述電導體被加熱到高于室溫的溫度的振幅。
8.一種用于測試測試樣品的電氣性能的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括：具有限定用于支撐第一懸臂的平坦表面的探針主體的探針，和第一熱探測器，
-所述第一懸臂在所述平坦表面支撐的第一近端與與所述第一近端相對的第一遠端之間以相對于所述平坦表面共面的關(guān)系從所述探針主體延伸，
所述第一懸臂具有支撐第一接觸探針的懸臂表面，
-所述第一熱探測器在所述平坦表面支撐的第二近端與與所述第二近端相對的第二遠端之間以相對于所述平坦表面共面的關(guān)系從所述探針主體延伸，所述第一熱探測器具有支撐具有溫度依賴性電阻的電導體的探測器表面，以及支撐所述第一熱探測器和所述第一接觸探針的膜，其中所述第一熱探測器的遠端距所述膜的頂部邊緣有第一距離，且所述第一接觸探針的遠端延伸到所述膜的所述頂部邊緣，以及
所述系統(tǒng)進一步包括：
用于在所述電導體與所述測試樣品之間建立溫差的加熱器或冷卻器，
與所述電導體互連的電源，用于在所述溫度依賴性電導體中注入電流，用于將所述探針移向所述測試樣品的致動器，以及
與所述電導體互連的電子電路，用于測量所述溫度依賴性電阻，并且將所述溫度依賴性電阻與閾值進行比較。
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