[發(fā)明專利]激光加工方法和激光加工裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201880070752.1 | 申請日： | 2018-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN111295265A | 公開（公告）日： | 2020-06-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 奧間惇治 | 申請（專利權(quán)）人： | 浜松光子學株式會社 |
| 主分類號： | B23K26/53 | 分類號： | B23K26/53;B23K26/03 |
| 代理公司： | 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322 | 代理人： | 楊琦 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 激光 加工 方法 裝置 | ||
1.一種激光加工方法，其特征在于：
是用于通過從加工對象物的第1表面?zhèn)认蛩黾庸ο笪镎丈涞?波長的加工用激光，從而進行所述加工對象物的激光加工的激光加工方法，
包括：
通過從參照表面?zhèn)认蚓哂邢鄬τ谒龅?波長的反射率已知的所述參照表面的參照物照射所述第1波長的測量用激光，從而作為所述測量用激光的在所述參照表面的反射光量而取得參照光量的第1工序；
通過從所述第1表面?zhèn)认蛩黾庸ο笪镎丈渌鰷y量用激光，從而作為所述測量用激光的在所述第1表面的反射光量而取得第1光量的第2工序；
在所述第1工序和所述第2工序之后，基于所述參照物的反射率、所述參照光量和所述第1光量，計算相對于所述第1波長的所述第1表面的反射率的第3工序；和
在所述第3工序之后，根據(jù)在所述第3工序中計算出的所述第1表面的反射率，調(diào)整所述加工用激光的照射條件，并且在調(diào)整后的照射條件下從所述第1表面?zhèn)认蛩黾庸ο笪镎丈渌黾庸び眉す猓瑥亩M行在所述加工對象物的至少內(nèi)部形成改質(zhì)區(qū)域的激光加工的第4工序。
2.如權(quán)利要求1所述的激光加工方法，其特征在于：
在所述第1工序中，通過與所述加工用激光相同的光軸向所述參照物照射從與所述加工用激光的光源共同的光源輸出的所述測量用激光，
在所述第2工序中，通過與所述加工用激光相同的光軸向所述加工對象物照射從與所述加工用激光的光源共同的光源輸出的所述測量用激光。
3.如權(quán)利要求1或2所述的激光加工方法，其特征在于：
在所述第1工序中，在向所述參照物照射所述測量用激光之前，利用衰減器調(diào)整所述測量用激光的輸出，
在所述第2工序中，在向所述加工對象物照射所述測量用激光之前，在與所述第1工序相同的設(shè)定值下利用所述衰減器調(diào)整所述測量用激光的輸出。
4.如權(quán)利要求1～3中的任一項所述的激光加工方法，其特征在于：
在所述第1工序中，通過利用照相機對所述測量用激光的在所述參照表面的反射光進行攝像而得到的第1圖像的圖像處理，取得所述參照光量，
在所述第2工序中，通過利用所述照相機對所述測量用激光的在所述第1表面的反射光進行攝像而得到的第2圖像的圖像處理，取得所述第1光量。
5.如權(quán)利要求4所述的激光加工方法，其特征在于：
在所述第1工序中，通過根據(jù)所述照相機的曝光時間將所述第1圖像的一部分的區(qū)域內(nèi)的亮度值的總和標準化而取得所述參照光量，
在所述第2工序中，通過根據(jù)所述照相機的曝光時間將與所述第1圖像的所述一部分的區(qū)域內(nèi)對應(yīng)的所述第2圖像的一部分的區(qū)域內(nèi)的亮度值的總和標準化而取得所述第1光量。
6.如權(quán)利要求4或5所述的激光加工方法，其特征在于：
在所述第1工序和所述第2工序中，基于所述測量用激光的反射光未輸入到所述照相機時的圖像進行背景修正。
7.一種激光加工裝置，其特征在于：
是用于通過從加工對象物的第1表面?zhèn)认蛩黾庸ο笪镎丈涞?波長的加工用激光，從而進行所述加工對象物的激光加工的激光加工裝置，
包括：
輸出所述第1波長的激光的光源；
通過對所述激光的反射光進行攝像而取得圖像的照相機；和
至少進行所述光源和所述照相機的控制的控制部，
所述控制部執(zhí)行如下處理：
從參照表面?zhèn)认蚓哂邢鄬τ谒龅?波長的反射率已知的所述參照表面的參照物照射所述第1波長的測量用激光的第1處理；
在所述第1處理之后，利用所述照相機對所述測量用激光的在所述參照表面的反射光進行攝像而取得第1圖像的第2處理；
在所述第2處理之后，通過所述第1圖像的圖像處理，作為所述測量用激光的在所述參照表面的反射光量而取得參照光量的第3處理；
從所述第1表面?zhèn)认蛩黾庸ο笪镎丈渌鰷y量用激光的第4處理；
在所述第4處理之后，利用所述照相機對所述測量用激光的在所述第1表面的反射光進行攝像而取得第2圖像的第5處理；
在所述第5處理之后，通過所述第2圖像的圖像處理，作為所述測量用激光的在所述第1表面的反射光量而取得第1光量的第6處理；
在所述第3處理和所述第6處理之后，基于所述參照物的反射率、所述參照光量和所述第1光量，計算相對于所述第1波長的所述第1表面的反射率的第7處理；和
在所述第7處理之后，根據(jù)在所述第7處理中計算出的所述第1表面的反射率，調(diào)整所述加工用激光的照射條件，并且在調(diào)整后的照射條件下從所述第1表面?zhèn)认蛩黾庸ο笪镎丈渌黾庸び眉す猓瑥亩M行在所述加工對象物的至少內(nèi)部形成改質(zhì)區(qū)域的激光加工的第8處理。
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