[發(fā)明專利]含硅氧烷添加劑的組合物在處理50nm或更小尺寸的圖案化材料時(shí)的用途

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880070358.8
• 申請(qǐng)日: 2018-10-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111279271B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: D·勒夫勒;M·C·沈;S·H·魏;F·皮龍;L·恩格布萊希特;Y·伯克;A·克里普;M·布里爾;S·奇霍尼
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 巴斯夫歐洲公司
• 主分類號(hào): G03F7/40
• 分類號(hào): G03F7/40;C11D1/66;C11D11/00;H01L21/02;H01L21/027
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所 11247
• 代理人: 肖威;劉金輝

1.包含有機(jī)溶劑和至少一種式I-IV的添加劑的非水性組合物用于處理包含具有50nm或更小的線性空間尺寸和4或更大的縱橫比的圖案的基板的用途：

其中：

R¹、R²獨(dú)立地選自H或C₁-C₁₀烷基，

n為0、1或2，

e、u、v為獨(dú)立地選自0-5的整數(shù)，

b、d、w為獨(dú)立地選自0-6的整數(shù)，

a、c、x為獨(dú)立地選自1-22的整數(shù)，

y為1-5的整數(shù)，

R¹⁰、R¹²獨(dú)立地選自H或C₁-C₁₀烷基，且

R¹¹對(duì)于各a、c和x獨(dú)立地選自H、甲基和乙基，

其中式I、II、III或IV的所述至少一種添加劑以0.00005-1.0重量％的濃度存在，基于該組合物的總重量。

2.如權(quán)利要求1所述的用途，其中所述有機(jī)溶劑為極性質(zhì)子有機(jī)溶劑。

3.如權(quán)利要求1所述的用途，其中所述有機(jī)溶劑為直鏈或支化C₁-C₁₀烷鏈烷醇。

4.如權(quán)利要求3所述的用途，其中所述有機(jī)溶劑為異丙醇。

5.如權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的用途，其中所述非水性組合物中的水含量低于0.1重量％。

6.如權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的用途，其中所述非水性組合物基本上由所述有機(jī)溶劑和式I、II、III或IV的所述至少一種添加劑組成。

7.如權(quán)利要求5所述的用途，其中所述非水性組合物基本上由所述有機(jī)溶劑和式I、II、III或IV的所述至少一種添加劑組成。

8.如權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的用途，其中式I、II、III或IV的所述至少一種添加劑以0.001-0.1重量％的濃度存在。

9.如權(quán)利要求5所述的用途，其中式I、II、III或IV的所述至少一種添加劑以0.001-0.1重量％的濃度存在。

10.如權(quán)利要求6所述的用途，其中式I、II、III或IV的所述至少一種添加劑以0.001-0.1重量％的濃度存在。

11.如權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的用途，其中所述至少一種添加劑為式I化合物，其中：

R¹、R²獨(dú)立地選自H、甲基或乙基，

e為0、1或2，

b、d為0、1或2，

a、c為獨(dú)立地選自1-22的整數(shù)，

R¹⁰、R¹²獨(dú)立地選自H、甲基或乙基，且

R¹¹選自甲基或乙基。

12.如權(quán)利要求11所述的用途，其中R¹¹為甲基。

13.如權(quán)利要求5所述的用途，其中所述至少一種添加劑為式I化合物，其中：

R¹、R²獨(dú)立地選自H、甲基或乙基，

e為0、1或2，

b、d為0、1或2，

a、c為獨(dú)立地選自1-22的整數(shù)，

R¹⁰、R¹²獨(dú)立地選自H、甲基或乙基，且

R¹¹選自甲基或乙基。