[發(fā)明專利]用于延長激光室中電極壽命的方法和裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880069267.2
• 申請日: 2018-10-09
• 公開（公告）號: CN111279562A
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: T·P·達(dá)菲;P·C·梅爾徹;W·D·吉萊斯皮
• 申請（專利權(quán)）人: 西默有限公司
• 主分類號: H01S3/225
• 分類號: H01S3/225;H01S3/09;H01S3/097
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 董莘

1.一種激光器，包括：

放電室；

第一電極，至少部分地定位在所述放電室內(nèi)；

第二電極，至少部分地定位在所述放電室內(nèi)，所述第一電極具有第一放電表面，并且所述第二電極具有第二放電表面，所述第一放電表面和所述第二放電表面被布置為跨間隙彼此面對；以及

馬達(dá)，機(jī)械地耦合至所述第二電極，以定位所述第二放電表面，以控制所述間隙的寬度；

其中所述第一電極的極性相對于所述第二電極的極性為正，使得所述第一電極在所述放電室中在放電期間用作陽極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器，其中所述第一電極的位置相對于所述放電室固定。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器，其中所述第一電極包括當(dāng)所述第一電極在所述放電室中在放電期間用作陽極時(shí)形成抗腐蝕涂層的材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器，還包括應(yīng)用到所述第一電極的抗腐蝕涂層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器，還包括連接至所述馬達(dá)的控制器，其中所述控制器向所述馬達(dá)提供控制信號以控制所述間隙的所述寬度。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光器，其中所述控制器控制所述馬達(dá)以將所述間隙的所述寬度維持在預(yù)定范圍內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光器，其中所述控制器至少部分地基于在放電期間維持基本上恒定的輸出功率所需的、在所述第一電極和所述第二電極之間的電壓差的大小來產(chǎn)生所述控制信號。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光器，還包括連接至所述控制器的檢測器，所述檢測器用于測量所述間隙的寬度并提供指示所述寬度的信號，其中所述控制器至少部分地基于由所述檢測器測量的所述寬度來產(chǎn)生所述控制信號。

9.根據(jù)權(quán)利要求所述的激光器，還包括電連接至所述第一電極和所述第二電極的電源，所述電源用于向所述第一電極和所述第二電極中的至少一個(gè)電極提供多個(gè)脈沖，所述電源包括換向器模塊和壓縮頭模塊，其中所述換向器模塊和所述壓縮頭模塊被修改，使得所述第一電極的所述極性相對于所述第二電極的極性為正，使得所述第一電極在所述脈沖期間用作陽極。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光器，其中所述控制器至少部分地基于在所述放電室中已經(jīng)發(fā)生的放電數(shù)目來產(chǎn)生所述控制信號。

11.一種激光器，包括：

放電室；

第一電極，至少部分地定位在所述放電室內(nèi)并相對于所述放電室固定；

第二電極，至少部分地定位在所述放電室內(nèi)，所述第一電極具有第一放電表面，并且所述第二電極具有第二放電表面，所述第一放電表面和所述第二放電表面被布置為跨間隙彼此面對，所述第一電極的極性相對于所述第二電極的極性為正，使得所述第一電極在所述放電室中在放電期間用作陽極，所述第一電極包括當(dāng)所述第一電極在所述放電室中在放電期間用作陽極時(shí)形成抗腐蝕涂層的材料；

馬達(dá)，機(jī)械地耦合至所述第二電極以定位所述第二放電表面，以控制所述間隙的寬度；以及

控制器，連接至所述馬達(dá)，其中所述控制器向所述馬達(dá)提供控制信號以將所述間隙的所述寬度維持在預(yù)定范圍內(nèi)。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的激光器，其中所述控制器至少部分地基于在所述放電室中已經(jīng)發(fā)生的放電數(shù)目來產(chǎn)生所述控制信號。