[發明專利]測試裝置

有效

• 申請號: 201880069228.2
• 申請日: 2018-11-22
• 公開（公告）號: CN111279203B
• 公開（公告）日: 2023-07-11
• 發明（設計）人: 宋昌炫;鄭宰歡
• 申請（專利權）人: 李諾工業股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/18;G01R31/28
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊文娟;臧建明

本發明公開一種用于高速/高頻測試的測試裝置。所述測試裝置包括：導電塊，包括探針孔；至少一個信號探針，無接觸地支撐在所述探針孔的內壁中，包括將與待測試對象的測試接觸點接觸的第一端，且能夠沿長度方向縮回；以及同軸纜線，包括將與所述信號探針的第二端電接觸的芯線。通過此測試裝置，所述同軸纜線直接接觸所述信號探針，因而完全阻擋測試電路板中的噪聲。

技術領域

本公開涉及一種測試裝置，尤其涉及一種有效地阻擋來自相鄰信號線的噪聲且信號傳輸特性優異的用于高速高頻測試的測試裝置。

背景技術

為測試例如半導體等待測試對象的電特性，測試裝置已采用用于支撐測試探針的探針插座及用于接觸測試探針并施加測試信號的測試電路板。隨著高頻高速半導體的間距(pitch)減小且容許電流(allowable?current)增大，在探針插座的各信號探針之間進行噪聲屏蔽已變得非常重要。亦即，隨著測試速度及頻率變得更高，測試電路板的機械長度、阻抗匹配等變為重要的。

傳統測試裝置包括用于支撐信號探針的探針插座及放置于探針插座之下并提供測試信號的測試電路板。在信號探針無接觸地插入導電黃銅塊(conductive?brass?block)中時，探針插座執行測試。此外，測試電路板包括形成于絕緣介電基板上且傳輸測試信號的信號接墊及導電柱。當需要高隔離度(high?isolation)的高頻高速半導體或類似對象經受測試時，使用導電接地體來將探針插座的相鄰的信號探針彼此屏蔽。然而，為了進行更可靠的測試，需要管理由測試電路板的各導電柱之間以及測試電路板的各信號接墊之間產生的噪聲所造成的隔離損耗(isolation?loss)。此外，測試電路板包括具有預定長度的配線(wiring?line)，且因此造成與配線的長度對應的信號損耗，因而使信號傳輸特性劣化。

發明內容

技術問題

本公開的實施例旨在解決傳統問題，并提供一種有效地阻擋相鄰的信號線之間的噪聲并對高頻高速半導體進行測試的測試信號的傳輸特性優異的測試裝置。

問題解決方案

根據本公開的實施例，提供一種測試裝置。所述測試裝置包括：導電塊，包括探針孔；至少一個信號探針，無接觸地支撐在所述探針孔的內壁中，包括將與所述待測試對象的測試接觸點接觸的第一端，且能夠沿長度方向縮回；以及同軸纜線，包括將與所述信號探針的第二端電接觸的芯線。因此，所述測試裝置確實阻擋纜線支撐基板上的各信號探針之間的噪聲，并增強測試信號的傳輸特性。

所述測試裝置可還包括纜線容置孔以及纜線支撐件，在所述纜線容置孔中容置有所述同軸纜線，所述纜線支撐件包括耦合至所述導電塊以使所述探針孔對應于所述纜線容置孔、進而牢固地支撐所述同軸纜線的纜線支撐塊。

所述纜線支撐塊可包括用于支撐所述同軸纜線、因而防止同軸纜線移動的纜線支撐凹槽。

所述纜線支撐件可包括自所述纜線支撐塊一體延伸、因而防止各同軸纜線之間的干擾的延伸板部分。

所述纜線支撐件可包括纜線支撐基板，所述纜線支撐基板具有貫穿孔，所述纜線支撐塊穿過所述貫穿孔，進而將所述纜線支撐塊穩定地緊固至所述導電塊。

發明的有益效果

使用所述測試裝置，同軸纜線與信號探針直接接觸，從而完全阻擋了測試電路板中的噪聲。

附圖說明

結合附圖閱讀示例性實施例的以下說明，以上和/或其他實施例將變得顯而易見且更易于理解，在附圖中：

圖1是根據本公開第一實施例的測試裝置中的測試插座的分解剖視圖。

圖2是根據本公開第一實施例的測試裝置的平面圖。

圖3是根據本公開第一實施例的測試裝置的仰視立體圖。