[發明專利]聚酰亞胺糊料的干燥方法及高光電轉化效率太陽能電池的制造方法有效
| 申請號: | 201880069210.2 | 申請日: | 2018-08-24 |
| 公開(公告)號: | CN111278575B | 公開(公告)日: | 2022-08-09 |
| 發明(設計)人: | 渡部武紀;橋上洋;大塚寬之 | 申請(專利權)人: | 信越化學工業株式會社 |
| 主分類號: | B05D3/02 | 分類號: | B05D3/02;B05D7/00;B05D7/24;C08G73/10;C08J5/18;H01B3/30;H01L21/312;H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人: | 張晶;謝順星 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 聚酰亞胺 糊料 干燥 方法 光電 轉化 效率 太陽能電池 制造 | ||
1.一種太陽能電池的制造方法,其為制造作為太陽能電池的結構的一部分而包含由固化聚酰亞胺形成的固化聚酰亞胺膜的太陽能電池的方法,所述制造方法的特征在于,其具有以下工序:
在半導體基板內形成接合p型層與n型層的pn結的工序;
在所述p型層上形成與其電接觸的p型電極的工序;
在所述n型層上形成與其電接觸的n型電極的工序;
形成與所述p型電極連接的p型母線的工序;及
形成與所述n型電極連接的n型母線的工序,
其中,所述固化聚酰亞胺膜形成為所述n型母線與所述p型電極的絕緣層和所述p型母線與所述n型電極的絕緣層;
在形成所述固化聚酰亞胺膜時,所述太陽能電池的制造方法包含以下工序:
在包含所述半導體基板的結構體的表面上涂布含有有機溶劑與溶解在該有機溶劑中的聚酰亞胺樹脂,并通過干燥及加熱進行固化而形成所述固化聚酰亞胺的聚酰亞胺糊料的工序;
至少對包含所述半導體基板的結構體的涂布了所述聚酰亞胺糊料的部位的表面,涂布含有水、乙二醇、乙酸、甲醇、乙醇、1-丙醇、2-丙醇、1-丁醇、甲酸中的至少任意一種極性物質的溶劑的工序;
在涂布所述含有極性物質的溶劑后,對所述聚酰亞胺糊料及所述含有極性物質的溶劑進行干燥的工序;及
對進行了干燥的所述聚酰亞胺糊料進行加熱而使其固化,形成所述固化聚酰亞胺膜的工序。
2.根據權利要求1所述的太陽能電池的制造方法,其特征在于,將所述含有極性物質的溶劑設為含有1質量%以上的所述極性物質的溶劑。
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