[發明專利]光學裝置的安裝結構以及曝光裝置

在審

• 申請號: 201880062386.5
• 申請日: 2018-11-19
• 公開（公告）號: CN111149061A
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 米澤良;杉本重人;山崎祥平;町田孝二
• 申請（專利權）人: 株式會社V技術
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B7/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉文海

能夠在使光學裝置上下移動時防止光軸的抖動。在框體形成有在大致鉛垂方向上貫通的圓孔，大致薄板狀并且俯視呈大致圓板形狀的引導構件(70)以覆蓋圓孔的方式設置于所述框體。形成于引導構件(70)的大致中央的安裝孔(74)配置為與圓孔大致同心的圓狀，筒狀部以光軸與所述安裝孔(74)的中心大致一致的方式插入安裝孔(74)而固定于引導構件(70)。

技術領域

本發明涉及光學裝置的安裝結構以及曝光裝置。

背景技術

在專利文獻1中公開了一種曝光裝置，其在對設置于曝光臺的薄片薄膜進行曝光處理時，使曝光臺升降，并且控制構成曝光頭的棱鏡對而進行焦點調整處理。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2006-235457號公報

發明內容

發明要解決的課題

在專利文獻1所述的發明中，通過改變棱鏡對的厚度來進行焦點調整，但若在會聚光中光路長度改變則會產生像差，因此光學系統的性能會因焦點調整而改變。這樣，在通過使光學部件的配置發生變化來進行曝光頭的焦點調整的情況下，有可能無法使光學性能最佳化。

為了應對這樣的問題，而考慮不使光學部件的配置發生變化而使光學裝置整體上下移動的方法。然而，在使光學裝置整體上下移動的情況下，有可能光軸隨著上下移動而抖動(光軸的水平方向的位置偏移)，使描繪精度降低。特別是在設置有多個光學裝置的情況下，由于多個光學裝置的相對的關系是重要的，所以需要進一步地減小光軸的抖動量。

另外，在專利文獻1中記載的所發明的那樣的用于制造印刷基板的裝置中，通常使用NA為0.2～0.3程度的透鏡。然而，若將在專利文獻1中記載的發明所記載的棱鏡對應用于使用NA為0.65左右的透鏡的裝置，則像差變大，并且對焦的范圍變窄。

本發明是鑒于這樣的狀況而完成的，因此，其目的在于提供能夠在使光學裝置上下移動時防止光軸的抖動的光學裝置的安裝結構以及曝光裝置。

用于解決課題的方案

為了解決上述課題，本發明的光學裝置的安裝結構的特征在于，例如，所述光學裝置的安裝結構具備：光學裝置，其具有筒狀部；框體，其用于組裝所述光學裝置；大致薄板狀的引導構件，其在所述光學裝置的組裝時設置于所述光學裝置與所述框體之間；以及驅動部，其設置于所述框體，并使所述光學裝置在鉛垂方向上移動，在所述框體形成有在大致鉛垂方向上貫通的圓孔，所述引導構件為俯視呈大致圓板形狀，并以覆蓋所述圓孔的方式設置于所述框體，在所述引導構件的大致中央形成有安裝孔，所述安裝孔配置為與所述圓孔大致同心的圓狀，所述筒狀部以光軸與所述安裝孔的中心大致一致的方式插入所述安裝孔而固定于所述引導構件。

根據本發明的光學裝置的安裝結構，在框體形成有在大致鉛垂方向上貫通的圓孔，大致薄板狀并且俯視呈大致圓板形狀的引導構件以覆蓋圓孔的方式設置于所述框體。形成于引導構件的大致中央的安裝孔配置為與圓孔大致同心的圓狀，筒狀部以光軸與所述安裝孔的中心大致一致的方式插入安裝孔而固定于引導構件。通過像這樣使引導構件均勻地變形，能夠在使光學裝置上下移動時防止光軸的抖動，換句話說能夠使光學裝置不在水平方向上移動而使光學裝置在上下方向上移動。

在此，也可以是，所述框體具有：底板，其大致水平地設置；以及支承板，其大致水平地設置并且設置于所述底板的上側，在所述底板以及所述支承板分別形成有所述圓孔即第一圓孔以及第二圓孔，在俯視下，所述第一圓孔的中心與所述第二圓孔的中心大致一致，在將所述光學裝置組裝于所述框體時，所述光學裝置的重心位于所述驅動部將所述光學裝置頂起的位置的附近。由此，驅動部在光學裝置的重心的附近將光學裝置頂起，從而能夠使光學裝置的上下移動穩定。